基于光學MEMS的光譜/偏振成像技術及其應用

MEMS 2026-07-09 07:11

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據麥姆斯咨詢報道，2026年7月24日至7月26日，西北工業大學教授虞益挺將參加《第81期“見微知著”培訓課程：光學MEMS技術及應用》并進行授課，具體信息如下：

授課主題：基于光學MEMS的光譜/偏振成像技術及其應用

授課老師簡介：

虞益挺，博士，西北工業大學機電學院二級教授、博士生導師，兼任西北工業大學寧波研究院智能傳感芯片技術研究中心負責人，國家級領軍人才、國家173重點項目首席科學家、國家優青、教育部新世紀優秀人才、教育部全國百篇優博論文獎獲得者、德國洪堡學者、陜西省優秀青年科技新星、寧波市頂尖人才。他主持建成浙江省首條8英寸硅基MEMS前道工藝中試線，主持立項浙江省軍民融合創新示范基地、浙江省MEMS傳感芯片定制加工服務型示范平臺及寧波市光學微系統及應用技術重點實驗室；他擔任浙江省高性能MEMS芯片規模制造技術重點實驗室副主任，“甬江引才工程”創新團隊負責人，中國光學工程學會理事、中國微米納米技術學會微納執行器與微系統分會副理事長暨青工委委員、中國機械工程學會極端制造分會委員，國家多部委及多省市項目、科技獎評審專家。他主要從事MEMS光功能芯片及先進視覺感知技術研究，面向軍事國防、遙感遙測、醫療診斷、智能制造等應用領域研制高性能、低成本、超緊湊的核心微納光功能芯片，進而推動相關儀器或裝備的微型化、集成化、智能化與低成本化。他先后主持國家自然科學基金優青及面上項目、軍科委基礎加強重點項目及創新特區項目、裝備預研航天科技聯合基金、中航產學研專項等課題10余項。至今，他在AM、NC、IF、AOM、OEA、MINE、OE、OL、APL、中國光學、光學學報等國內外重要學術期刊發表論文150余篇，獲授權中國發明專利57項。他合作出版了工信部“十四五”規劃教材《微機電系統》（第2版）。

授課背景及內容：

傳統的光學成像系統受限于單一的光強信息記錄，難以全面表征目標的物化屬性與結構特征。通過引入光譜和偏振成像技術，多維度光學信息的捕獲使成像系統實現了從“視覺呈現”向“智能理解”的跨越，大幅提升了目標識別、環境感知以及定量分析能力。隨著光學MEMS技術的不斷發展，MEMS可調諧濾波器、MEMS微鏡、MEMS光柵和MEMS偏振調制器逐漸成為實現光譜和偏振成像系統的核心器件，助力實現多維度信息的高效獲取。展望未來，借助MEMS與CMOS集成技術，可以實現光學MEMS、光電探測器及控制電路的單片集成，再通過深度融合人工智能（AI），從而打造超小型多維信息感知系統，賦能各種移動設備和可穿戴設備。本課程概述光學MEMS技術，介紹光學MEMS器件設計與制造，深入講解基于光學MEMS的光譜/偏振成像技術及其應用。