
近年來,隨著AI算力、800G/1.6T光模塊、消費電子3D感知、激光雷達等產業快速發展,"半導體激光器"這個詞越來越頻繁地出現在行業新聞中。
例如,蘋果Face ID采用VCSEL;800G光模塊大量使用EML激光器;數據中心長距離光通信主要依賴DFB激光器;中紅外氣體檢測則采用量子級聯激光器(QCL)。不同應用場景背后,對應著不同類型的半導體激光器。
很多半導體材料領域的從業者都會產生一個疑問:它們都叫半導體激光器,為什么名稱、結構和應用卻完全不同?
實際上,半導體激光器(Semiconductor Laser)本身就是一種半導體光電子器件。根據芯片結構、材料體系和工作方式的不同,逐漸演化出了VCSEL、DFB、EML、FP、DBR、QCL等多條技術路線,共同構成了現代光電子產業的重要基礎。
本文將從工作原理、材料體系、產品分類和應用場景四個方面,對半導體激光器進行系統梳理。
首先需要區分兩個容易混淆的概念。半導體激光器,指的是以半導體材料作為增益介質制成的激光器,它本身就是一種芯片,也稱為激光二極管(Laser Diode,LD)。
而大家經常聽到的準分子激光器、飛秒激光器、CO?激光器等,則屬于工業激光器,它們主要作為芯片制造設備中的光源,用于光刻、切割、退火等工藝,并不是半導體器件。關于這一部分,我們將在下一篇《半導體領域用的激光器》中進行介紹。
從產業鏈位置來看,半導體激光器位于光電子產業鏈的上游,是光模塊、消費電子、激光雷達、工業加工、醫療檢測等眾多產品的核心元器件。
一句話理解:LED發出的是普通光,而半導體激光器發出的是激光。雖然二者都采用PN結結構,但輸出光的性質卻完全不同。
半導體激光器和LED一樣,都是基于PN結工作。當電流注入PN結后,電子和空穴在有源區復合,釋放出光子。如果這些光子隨機向各個方向發射,就形成了LED發出的普通光。

而半導體激光器則進一步在芯片內部構建了諧振腔。光子在諧振腔中不斷往返反射,并持續誘導新的電子產生相同波長、相同方向、相同相位的光子,即所謂的受激輻射。當光學增益大于腔內損耗時,最終形成高度集中的激光輸出。
因此,半導體激光器具有三大典型特征:
對于材料行業來說,這也是理解半導體激光器最關鍵的一部分。
決定一種材料能否制作激光器,并不是導電性能,而是它是否屬于直接帶隙半導體。
像硅(Si)和鍺(Ge)屬于間接帶隙材料,電子復合時難以高效率釋放光子,因此很難直接制作高性能激光器。這也是為什么硅光芯片中的激光器通常需要采用Ⅲ-Ⅴ族材料異質集成。
目前主流半導體激光器主要采用以下材料體系:
可以看到,不同材料對應不同波長,而不同波長又決定了最終應用場景。
例如:
因此,從材料到器件,再到應用,實際上形成了一條完整的產業鏈。
根據激光輸出方向不同,目前半導體激光器主要分為邊發射激光器(EEL)和面發射激光器(VCSEL)兩大技術路線,同時還有量子級聯激光器等特種產品。
邊發射激光器的激光沿芯片側面輸出,是目前光通信領域最成熟的技術路線。

FP激光器采用最簡單的法布里-珀羅諧振腔結構,由芯片兩端天然解理面形成反射鏡,因此結構簡單、成本較低,但輸出為多縱模,波長穩定性一般。主要應用于低速光模塊、消費電子以及成本敏感型光通信產品。

為了提高波長穩定性,研究人員在芯片內部引入了布拉格光柵,使激光器能夠實現單縱模輸出,這就是DFB激光器。DFB主要采用InP/InGaAsP材料體系,是1310nm和1550nm光通信的主流方案,目前廣泛應用于數據中心、電信網絡以及5G承載網。

EML是在DFB基礎上進一步集成電吸收調制器(EA),實現高速調制,因此成為100G、400G乃至800G高速長距離光模塊的重要光源。隨著AI服務器互聯帶寬持續提升,EML需求也在快速增長。

DBR將增益區與反射區分離,可實現波長連續調諧,因此主要應用于可調諧光模塊和DWDM密集波分復用系統。

如果說EEL是通信領域的主力,那么VCSEL則是近年來增長最快的半導體激光器。VCSEL(垂直腔面發射激光器)最大的特點,就是激光垂直于晶圓表面發射,而不是從側面輸出。

這種結構帶來了多個優勢:
目前850nm VCSEL廣泛用于數據中心多模光模塊;940nm VCSEL成為手機Face ID、ToF深度攝像頭和3D傳感的核心器件;1310nm VCSEL則開始進入新一代高速光通信領域。
近年來,隨著車載激光雷達、人形機器人、AR/VR等新興產業發展,VCSEL也迎來了新的增長機遇。
除上述主流產品外,還有一些針對特殊場景開發的半導體激光器。例如,量子級聯激光器(QCL)利用量子阱子帶躍遷實現中紅外激光輸出,能夠覆蓋傳統半導體激光器難以達到的波段,因此廣泛應用于氣體檢測、環境監測、醫療分析等領域。

此外,大功率半導體激光器通過巴條(Bar)或疊陣(Stack)集成,可輸出百瓦甚至千瓦級功率,既可以直接用于工業加工,也常作為光纖激光器和固體激光器的泵浦光源。

目前,全球半導體激光器產業已形成較為成熟的競爭格局。國際市場方面,Coherent、Lumentum、Broadcom、ams OSRAM、Hamamatsu等企業在通信、消費電子和工業領域占據領先地位。
國內企業近年來也實現了快速發展,長光華芯、源杰科技、縱慧芯光、炬光科技、華工科技等企業分別在大功率激光器、通信激光器、VCSEL等細分方向取得突破,國產化率不斷提升。
隨著AI算力、CPO(共封裝光學)、硅光技術以及高速光模塊的發展,半導體激光器正向更高速、更高功率、更低功耗以及更高集成度演進。同時,GaN VCSEL、量子點激光器、硅基異質集成激光器等新技術,也有望成為未來的重要發展方向。
從數據中心到智能手機,從自動駕駛到工業檢測,半導體激光器已經成為現代光電子產業最核心的基礎器件之一。雖然不同產品在結構、材料和應用上各不相同,但它們的共同目標都是實現更加高效、穩定、精準的光輸出。
需要說明的是,本文介紹的是作為光電子器件產品的半導體激光器(Laser Diode)。而在半導體制造過程中,還廣泛應用著另一大類激光器,包括準分子激光器、超快激光器、光纖激光器、CO?激光器等,它們承擔著光刻、退火、切割、檢測等關鍵工藝任務,與本文介紹的產品類激光器屬于完全不同的技術體系。
下一篇文章,我們系統梳理《半導體領域用的激光器》,帶大家了解芯片制造過程中究竟需要哪些激光器,它們分別承擔什么工藝,又有哪些核心廠商和技術路線。
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