復(fù)旦大學(xué)《Science》:石墨烯二維存儲(chǔ)器取得重大突破!

DT半導(dǎo)體材料 2026-07-17 19:14


隨著人工智能、高性能計(jì)算等應(yīng)用快速發(fā)展,信息存儲(chǔ)技術(shù)正不斷向更高密度、更低功耗的方向演進(jìn)。而在眾多前沿存儲(chǔ)技術(shù)中,單電子存儲(chǔ)器(Single-electron Memory)被認(rèn)為是未來(lái)信息存儲(chǔ)的終極形態(tài)之一,其理論上能夠利用單個(gè)電子完成信息存儲(chǔ),實(shí)現(xiàn)極限尺度的數(shù)據(jù)記錄。


不過(guò),單電子存儲(chǔ)長(zhǎng)期停留在理論層面。原因在于,當(dāng)器件尺寸不斷縮小時(shí),柵極與溝道之間的邊緣電容(Fringing Capacitance)反而會(huì)迅速增強(qiáng),使單電子帶來(lái)的電學(xué)信號(hào)被嚴(yán)重削弱,導(dǎo)致量子存儲(chǔ)狀態(tài)難以在實(shí)驗(yàn)中穩(wěn)定觀測(cè),尤其是在室溫條件下實(shí)現(xiàn)更具挑戰(zhàn)性。


近日,復(fù)旦大學(xué)周鵬教授、劉春森青年研究員團(tuán)隊(duì)在《Science》發(fā)表題為《Robust single-electron memory with quantum states manipulation》的研究論文,提出了一種基于共面漏-溝道-源(DCS)結(jié)構(gòu)的二維單電子存儲(chǔ)器,成功解決了邊緣電容帶來(lái)的限制,在室溫條件下實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的單電子非易失存儲(chǔ),首次實(shí)現(xiàn)了對(duì)單一量子態(tài)的精準(zhǔn)操控,為新一代量子存儲(chǔ)器的發(fā)展提供了新的技術(shù)路線。


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圖 室溫二維單電子存儲(chǔ)器件。(A) 基于共面DCS結(jié)構(gòu)的二維單電子存儲(chǔ)器件示意圖及HR-TEM圖像;(B) 二維單電子存儲(chǔ)器件中移除電子的能帶圖;(C) 施加不同編程VGS幅度前后的轉(zhuǎn)移曲線;(D) ΔVth與編程VGS幅度的關(guān)系,展示了單電子的移除(左)與注入(右)



創(chuàng)新器件結(jié)構(gòu),大幅削弱邊緣電容

研究團(tuán)隊(duì)首先分析了傳統(tǒng)單電子存儲(chǔ)器難以實(shí)現(xiàn)的重要原因。理論上,理想的單電子存儲(chǔ)器在不同電極之間不存在寄生電容,因此每增加或減少一個(gè)電子,都能夠帶來(lái)明顯且可區(qū)分的閾值電壓變化(ΔVth)。


然而,在傳統(tǒng)硅基器件中,由于溝道具有一定厚度,柵極與溝道側(cè)壁之間不可避免地產(chǎn)生邊緣電容。這部分寄生電容會(huì)分擔(dān)電荷變化,使單電子產(chǎn)生的電壓變化大幅減弱,并且隨著器件尺寸進(jìn)一步縮小,這種影響反而更加明顯。


研究表明,僅依靠縮小器件尺寸并不能實(shí)現(xiàn)真正意義上的單電子存儲(chǔ),溝道厚度才是決定邊緣電容大小的關(guān)鍵因素


基于這一認(rèn)識(shí),團(tuán)隊(duì)選擇厚度不足1 nm的二維材料作為溝道,并設(shè)計(jì)了全新的共面DCS(Drain-Channel-Source)結(jié)構(gòu),結(jié)合邊緣接觸方式,有效消除了傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)中的寄生電容,使邊緣電容貢獻(xiàn)降低至約2.4%。


整個(gè)器件采用石墨烯溝道,底部hBN進(jìn)行封裝,頂部hBN作為隧穿層,Al?O?作為阻擋層,共同構(gòu)建出適用于室溫量子存儲(chǔ)的新型二維存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)。



室溫實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定單電子存儲(chǔ)

在新結(jié)構(gòu)下,研究團(tuán)隊(duì)成功觀測(cè)到單電子存儲(chǔ)行為。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,每向存儲(chǔ)層注入或移除一個(gè)電子,器件閾值電壓都會(huì)發(fā)生約0.5 V的量子化漂移(ΔVth),形成清晰、穩(wěn)定且可區(qū)分的多個(gè)量子存儲(chǔ)狀態(tài)。


與此同時(shí),相鄰量子態(tài)對(duì)應(yīng)的編程電壓間隔也呈現(xiàn)出一致的量子化步長(zhǎng),表明器件已經(jīng)能夠按照單電子為單位完成信息寫(xiě)入與擦除。


相比此前報(bào)道的室溫單電子存儲(chǔ)器,該器件實(shí)現(xiàn)了目前較大的閾值電壓量子變化,使量子態(tài)更加容易識(shí)別,也為實(shí)際應(yīng)用提供了更高的可靠性。



非易失存儲(chǔ)能力突出

除了能夠穩(wěn)定記錄單電子狀態(tài)外,該器件還表現(xiàn)出優(yōu)異的非易失特性。研究發(fā)現(xiàn),在室溫條件下,當(dāng)編程脈沖持續(xù)時(shí)間由20 ns增加至90 ns時(shí),器件閾值電壓幾乎保持不變,表現(xiàn)出一種不同于傳統(tǒng)Flash存儲(chǔ)器的自限幅量子編程特性


傳統(tǒng)閃存中,編程時(shí)間越長(zhǎng),寫(xiě)入電荷越多,閾值電壓也會(huì)持續(xù)增加;而該二維單電子存儲(chǔ)器則由量子化過(guò)程決定,每次僅對(duì)應(yīng)單電子躍遷,因此幾乎不受脈沖時(shí)間影響。


此外,不同量子存儲(chǔ)狀態(tài)在室溫下經(jīng)過(guò)5000秒后仍保持穩(wěn)定,沒(méi)有出現(xiàn)明顯衰減,證明器件具有良好的非易失數(shù)據(jù)保持能力。



首次提出“DOS-scissors”理論,實(shí)現(xiàn)量子態(tài)精準(zhǔn)操控

除了實(shí)現(xiàn)單電子存儲(chǔ)之外,本研究另一項(xiàng)重要突破,是提出了全新的DOS-scissors(態(tài)密度剪刀)理論


研究團(tuán)隊(duì)進(jìn)一步利用石墨烯構(gòu)建了雙狄拉克(Dual-Dirac)結(jié)構(gòu)。由于石墨烯具有特殊的電子能帶,其費(fèi)米能級(jí)可以被調(diào)節(jié)至零態(tài)密度(DOS=0)區(qū)域


當(dāng)費(fèi)米能級(jí)進(jìn)入這一特殊區(qū)域后,材料中幾乎不存在可參與隧穿的電子,因此原本應(yīng)該發(fā)生的電子躍遷被直接阻斷,對(duì)應(yīng)的量子存儲(chǔ)狀態(tài)也隨之"消失"。


實(shí)驗(yàn)中,這種現(xiàn)象表現(xiàn)為相鄰量子態(tài)之間突然出現(xiàn)約±2 V的異常編程電壓間隔。只有繼續(xù)提高編程電壓,使費(fèi)米能級(jí)跨越零態(tài)密度區(qū)域后,電子才能再次發(fā)生隧穿,進(jìn)入下一量子態(tài)。


研究團(tuán)隊(duì)將這一機(jī)制命名為"態(tài)密度剪刀(DOS-scissors)",實(shí)現(xiàn)了對(duì)特定量子態(tài)的主動(dòng)"剪除"和精準(zhǔn)調(diào)控,為未來(lái)量子信息存儲(chǔ)提供了新的控制方法。



為下一代量子存儲(chǔ)技術(shù)提供新思路

總體來(lái)看,該研究將二維材料超薄特性與創(chuàng)新的共面DCS結(jié)構(gòu)相結(jié)合,有效解決了長(zhǎng)期困擾單電子存儲(chǔ)研究的邊緣電容問(wèn)題,在室溫條件下實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定、非易失、可區(qū)分的單電子存儲(chǔ)。


更重要的是,團(tuán)隊(duì)提出并驗(yàn)證了DOS-scissors理論,實(shí)現(xiàn)了單一量子態(tài)的精準(zhǔn)操控,進(jìn)一步拓展了單電子存儲(chǔ)器的研究邊界。


研究人員認(rèn)為,這一技術(shù)框架不僅適用于石墨烯體系,未來(lái)還可推廣至具有可設(shè)計(jì)零態(tài)密度區(qū)域的二維半導(dǎo)體及其他新型材料,通過(guò)對(duì)量子態(tài)進(jìn)行有選擇性的調(diào)控,為超高密度存儲(chǔ)、低功耗信息處理以及未來(lái)量子信息器件的發(fā)展提供新的技術(shù)路徑。



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