據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，2026年7月24日至7月26日，上海麥鍇科技有限公司CTO王櫟皓將參加《第81期“見微知著”培訓(xùn)課程：光學(xué)MEMS技術(shù)及應(yīng)用》并進(jìn)行授課，具體信息如下：
授課主題：面向激光束掃描應(yīng)用的壓電MEMS掃描鏡
授課老師簡(jiǎn)介：
王櫟皓，博士，上海麥鍇科技有限公司首席技術(shù)官（CTO）。2020年于中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所取得博士學(xué)位，2021年1月入職中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感器技術(shù)全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，研究方向?yàn)橄冗M(jìn)微納制造工藝以及光學(xué)MEMS器件與微系統(tǒng)。在MEMS器件設(shè)計(jì)及工藝、接口電子電路、傳感器微系統(tǒng)等方面積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)，開發(fā)了光學(xué)MEMS微鏡、CMOS-MEMS單片集成器件、MEMS生化傳感器，SPM探針等多款MEMS器件。他在Microsyst. Nanoeng.、Opt. Express、IEEE Sens. J.等期刊發(fā)表SCI論文四十余篇，申請(qǐng)專利（含PCT）三十余項(xiàng)。2023年孵化麥鍇科技并擔(dān)任首席技術(shù)官，推進(jìn)光學(xué)MEMS微鏡與模組的產(chǎn)業(yè)化工作，麥鍇科技推出多系列壓電MEMS掃描鏡及陣列，并于2025年獲評(píng)高新技術(shù)企業(yè)。
授課背景及內(nèi)容：
激光束掃描（Laser Beam Scanning，LBS）是利用光束掃描器件改變激光傳播方向，從而實(shí)現(xiàn)空間信息獲取、顯示或通信的一種光學(xué)操控技術(shù)。作為激光束掃描的核心器件之一，MEMS掃描鏡采用硅基半導(dǎo)體工藝制造，具有微型化、高精度、高頻率、低功耗、低成本及易于批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)，徹底改變了傳統(tǒng)的機(jī)械式光學(xué)掃描架構(gòu)。目前，MEMS掃描鏡已經(jīng)被應(yīng)用于汽車激光雷達(dá)（LiDAR）、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（AR）頭戴式顯示器、微型激光投影儀、空間激光通信、生物醫(yī)療成像等領(lǐng)域。上海麥鍇科技有限公司（簡(jiǎn)稱：麥鍇科技）孵化自中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)所傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，團(tuán)隊(duì)具有豐富的MEMS產(chǎn)品研發(fā)與量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，擁有壓電MEMS微鏡設(shè)計(jì)、制造、封裝與測(cè)試等全套核心技術(shù)，量產(chǎn)依托國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際先進(jìn)的8英寸MEMS代工平臺(tái)，產(chǎn)品應(yīng)用覆蓋激光通信、激光雷達(dá)、激光投影領(lǐng)域。本課程由麥鍇科技CTO王櫟皓講解壓電MEMS掃描鏡及激光束掃描應(yīng)用。
麥鍇科技的壓電MEMS掃描鏡示例
麥鍇科技的核心技術(shù)
課程提綱：
1. MEMS掃描鏡及激光束掃描（LBS）概述；
2. 基于壓電驅(qū)動(dòng)的MEMS掃描鏡；
3. 諧振態(tài)壓電MEMS掃描鏡及應(yīng)用；
4. 準(zhǔn)靜態(tài)壓電MEMS掃描鏡及應(yīng)用。
培訓(xùn)詳情：
https://www.memstraining.com/training-81.html
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