
近日,深圳市埃芯半導體科技有限公司(以下簡稱“埃芯半導體”)完成B+輪融資,累計融資規模近10億元。資金將主要用于大規模制造、產品交付及服務保障體系建設,并進一步推動先進制程、先進封裝及高端科學儀器產品的研發攻關和產業化。
埃芯半導體成立于深圳,業務聚焦晶圓制造、先進封裝及高端科學儀器等領域,核心技術路線為“光學+X射線”。公司圍繞半導體制造過程中的關鍵量測與檢測需求,構建了覆蓋核心部件、自主算法、系統工程及應用軟件的軟硬件協同研發體系,逐步形成從底層技術開發、設備工程化到客戶應用落地的完整能力。
在晶圓制造環節,埃芯半導體產品覆蓋薄膜厚度、關鍵尺寸(CD)、套刻誤差(Overlay)、材料組分及晶體結構等關鍵參數的量測,可服務先進邏輯芯片、DRAM及3D NAND等制造工藝。在先進封裝領域,公司進一步將檢測能力延伸至混合鍵合、硅通孔(TSV)、凸點等關鍵工藝,針對鍵合缺陷、內部孔隙、填充質量以及套刻精度等問題提供檢測與量測方案。同時,公司還布局高端科學儀器,面向物理研究、材料分析、量子科學等科研及產業應用場景。
從技術驗證到規模化交付,埃芯半導體的產業化進程也在加快。公司首臺晶圓量測設備于2023年實現交付,到2026年累計出貨量已突破百臺,產品逐步進入國內頭部晶圓廠量產線,并覆蓋先進Logic、先進DRAM及先進3D NAND等關鍵工藝量測需求。與此同時,公司客戶范圍進一步拓展至特色工藝和成熟制程晶圓廠、半導體設備廠商以及先進封裝企業,商業化應用持續擴大。
隨著AI芯片、先進存儲及先進封裝快速發展,芯片制造對在線量測、缺陷檢測和良率控制的要求不斷提升。埃芯半導體正以“光學+X射線”雙技術路線為基礎,加快構建覆蓋晶圓制造至先進封裝的量檢測能力,目標成為AI芯片制造良率控制的重要基礎設施供應商,以國產高端量檢測裝備支撐半導體制造過程控制、工藝優化和良率提升。
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