晶圓加工絕非一件輕而易舉的事情。
事實上,半導體晶圓廠處理一片晶圓通常需要數百個工藝步驟,歷時一個多月。即便在加工完成之后,還需要再有一個多月的時間來完成組裝、測試和封裝,才能最終產出可供使用的合格芯片。
但隨著摩爾定律的放緩,以及先進制造工藝越來越復雜,晶圓廠面臨的挑戰也在不斷升級:首先,如前文所述,隨著芯片制程工藝從納米級向埃米級演進,制造過程的復雜性必然增加,需要創新的軟件解決方案;其次,為了對大批量生產進行優化控制并最大限度地減少工藝偏差,晶圓廠產生的數據量正在向PB量級發展。不僅如此,由于供貨壓力加大、市場競爭激烈,晶圓廠還不得不在降低成本的同時努力完成嚴苛的生產目標。
那么,有沒有新的解決方案來幫助他們解決上述難題,讓制造過程更加高效,讓晶圓產能獲得更大的釋放?新思科技軟件產品Fab.da為此做出了有益的嘗試,晶圓廠可以籍此解決復雜挑戰,提高制造效率,獲得更大價值。

什么是Fab.da?
Fab.da是新思科技EDA數據分析解決方案的一部分,是一款全面的過程控制解決方案。它利用人工智能(AI)和機器學習(ML)來加快量產速度并實現高效的大批量制造,將整個芯片生命周期的數據分析和洞察能力融合在了一起,在Fab.da的加持下,半導體晶圓廠能夠做到在不停機的情況下,分析來自廠內數千臺設備的PB級海量數據。
換句話說,該創新解決方案能夠將晶圓廠內來自晶圓、設備、設計、掩模、測試和良率等多個環節中的數據匯集在一起,實現更高的效率、更大的數據可擴展性,并提高分析問題的速度和準確性。而此前,這些環節大多處于“孤立”狀態,容易形成“信息孤島”,導致諸多不同來源、不同類型的數據難以匯集到一個平臺,形成完整的連續數據集,用于先進節點和成熟節點的芯片制造。

Fab.da芯片制造工藝
作為面向先進晶圓廠的一種全面過程控制解決方案,Fab.da不僅提供基于AI和ML的故障檢測和分類(FDC)以及統計過程控制(SPC),還允許動態地檢測故障并充分利用全面的決策支持系統。這樣,晶圓廠工程師就能盡早識別工藝偏差并快速確定根本原因,從而實現高效的工藝監控。
值得一提的是,Fab.da還可實現基于ML的自動缺陷分類和缺陷圖像分析。這樣,制造商就能在分析良率問題時,深入了解設備的子系統或特定的工藝參數,以快速確定工藝偏差的根本原因。而且,Fab.da支持在云端使用,可在擁有成本方面提供充分的靈活性,以滿足隨時間而變化的計算需求。
誰懂IC制造商之苦?
半導體晶圓制造商制造更小、更快、更便宜的晶體管,背后有著巨大的商業動機。然而,這需要晶圓廠擁有合適的專業知識、設備和軟件,才能滿足競爭激烈的市場需求。例如,一個尖端的晶圓廠需要超過50億美元的前期資本投資,才能每分鐘生產數萬億顆晶體管,這些晶體管比一縷頭發的寬度小2000倍。
在芯片制造過程中,這些晶圓廠每年通過數十萬個獨特的傳感器實時收集、傳輸、處理超過數十PB的數據,以便在高級節點共享與制造芯片相關的信息。這種大數據流需要在幾秒鐘內實時監控和分析,以指導晶圓廠實現最大效率。
同時,還要考慮到EDA、測試和IC制造工具產生大量的數據又是異構的,如時序路徑、功率特性、裸片合格/不合格報告、工藝控制或驗證覆蓋指標,而如何利用這些異構設計數據對于提高生產率、PPA和參數/制造良率至關重要。
讓我們看看如果沒有類似Fab.da這樣的解決方案,在先進技術節點上進行制造工藝問題檢測會遇到怎樣的挑戰?顯而易見,工程師首先就只能自己進行良率分析,以找出潛在問題;發現問題之后,與缺陷和工藝團隊進行溝通,以確定根本原因并進行故障排查;再之后,缺陷團隊將開始尋找問題背后的一些相關性,而工藝團隊則進行故障排查并將其與根本原因聯系起來。

上述步驟無疑會耗費大量時間,而且很可能只是海量PB級數據產生過程中的一小部分。試想一下,如果我們把這些問題從局部放大到整個晶圓廠,面臨的挑戰將更加嚴峻和復雜。那么,為什么不能將這些時間集中起來用于提高芯片良率、降低成本和縮短產品上市時間呢?為什么不能轉變模式,利用工業4.0以及現代軟件解決方案中的AI/ML力量,實現晶圓廠效率的最大化呢?
智能制造推動下一代半導體芯片的發展
快速且智能的解決上述挑戰,正是Fab.da的最大優勢之一,例如工程師可以快速識別并查明特定芯片的問題,以進一步了解究竟是哪個工藝步驟和/或設備造成了問題。除了能夠快速、準確地進行過程控制之外,節省下來的時間和成本還帶來了其他諸多益處,包括:
- 效率:使晶圓廠能夠做出更好的決策并減少誤報。
- 連續性:連接多個晶圓廠,分析PB級數據,并提供云服務
- 魯棒性:無需停機并支持實時升級。
- 可擴展性:可在Fab.da平臺上部署客戶應用程序。
- 預測性應用:晶圓廠的過程控制從被動響應過渡到主動預測。
此外,晶圓廠還可以從最近的云工業化中受益。這意味著,多個晶圓廠能夠通過彼此之間的互聯進一步共享知識,增強多個晶圓工廠的流程。如果得到有效使用,托管在云中的軟件和數據則能夠對正確的數據進行排序、分析和優化,顯著減少停機時間,保護更大的供應鏈免受中斷,幫助公司履行可持續發展義務,并最終擊敗競爭對手。由AI和ML驅動的軟件分析多個晶圓廠的數PB數據,以幫助決策過程,并實現過程控制范式轉變。
其實,Fab.da只是新思科技AI驅動型EDA數據分析(Data Analytics,.da)解決方案的一部分,它與Design.da和Silicon.da共同組成了面向芯片開發全流程的完整平臺,是對Synopsys.ai全棧式EDA平臺的增強和擴展。
其中,Design.da對來自Synopsys.ai設計執行的數據進行深度分析,為開發者提供全面的可視化和可操作的設計分析,從而挖掘功耗、性能和面積(PPA)優化的機會;Silicon.da則收集來自測試設備的千兆字節級芯片監控、診斷和生產測試數據,以改進質量、良率和吞吐量等芯片生產指標以及功耗和性能等芯片運行指標。
最終,包括Fab.da在內的分析解決方案套件可通過AI驅動的流程和方法實現多域數據整合管理,從而顯著提高生產率并改善QoR。憑借更深入的設計分析,工程師可以實現更有效的調試和優化工作流程。
同時,芯片制造商可以在整個掩模、制造和測試過程中快速定位和糾正問題區域,以免影響產品質量和產量。芯片企業還可以在其數據集上使用生成式AI技術,從而實現知識助手、預防性和規范性假設探索以及引導性問題解決方案等全新用例。
結語
在提供過程控制解決方案以有效管理尖端晶圓廠的復雜性方面,新思科技不僅擁有類似Fab.da、Synopsys.ai這樣的平臺,還有更多涵蓋TCAD解決方案、掩模解決方案及制造分析的出色軟件解決方案。它們通過連接到多個晶圓廠數千臺設備上的數百萬個傳感器,以及最新的AI/ML軟件解決方案實現了自動數據分析,賦能工程師對數百PB的海量數據進行分析,并提醒晶圓廠注意潛在的工藝和產量問題。
這與先進芯片制造廠的需求無縫對接,也與工業4.0的愿景——“通過利用制造過程中的大量數據使制造業數字化,提高效率”相吻合。未來,新思科技將借助自身在連續數據集方面的豐富專業知識,通過AI/ML和大數據方面的先進技術,從各個方面幫助客戶從工業4.0中獲益,包括IC設計、掩模綜合、工藝建模、片上測試和監控技術等。