在半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中,除了光刻、刻蝕之外,清洗也是一個(gè)重要的環(huán)節(jié),可以說(shuō)半導(dǎo)體清洗貫穿整個(gè)晶圓制造過(guò)程。而且,清洗工藝好壞是提升良率的關(guān)鍵。隨著尺寸縮小、結(jié)構(gòu)復(fù)雜化,芯片對(duì)雜質(zhì)含量的敏感度也相應(yīng)提高,直接影響到產(chǎn)品良率,每降低1%的良率會(huì)給客戶造成3000-5000萬(wàn)美元利潤(rùn)損失。
清洗步驟數(shù)量約占所有芯片制造工序步驟30%以上,而且隨著節(jié)點(diǎn)的推進(jìn),清洗工序的數(shù)量和重要性會(huì)繼續(xù)提升,清洗設(shè)備的需求量也將相應(yīng)增加。在國(guó)產(chǎn)清洗設(shè)備廠商中,盛美中國(guó)無(wú)疑是龍頭;但江蘇泰州出了一匹國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的“黑馬”——江蘇亞電科技股份有限公司(江蘇亞電).
一、江蘇亞電,2024年全球十佳專項(xiàng)設(shè)備供應(yīng)商之一
江蘇亞電成立于2019年,主要從事半導(dǎo)體前道工藝制程中濕法設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路芯片制造、光伏電池片制造過(guò)程中的清洗、刻蝕等工藝環(huán)節(jié)。
半導(dǎo)體研究機(jī)構(gòu)TechInsights5月15日公布評(píng)選的2024年全球十佳半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,分為大型設(shè)備、專項(xiàng)設(shè)備兩類。其中專項(xiàng)設(shè)備評(píng)選當(dāng)中江蘇亞電上榜,成為全球2024專項(xiàng)設(shè)備供應(yīng)商TOP10之一。

特別值得一提的是,TechInsights在2024年收到了來(lái)自全球53%芯片市場(chǎng)和96%子系統(tǒng)客戶的18000多份反饋意見,受訪者對(duì)設(shè)備供應(yīng)商進(jìn)行了14個(gè)不同類別的評(píng)分。最終評(píng)選出兩大類別共20家上榜企業(yè)。
這也從側(cè)面反映了江蘇亞電在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力,以及客戶的認(rèn)可度。
二、半導(dǎo)體清洗設(shè)備主流晶圓全覆蓋
江蘇亞電是國(guó)內(nèi)首批推進(jìn)半導(dǎo)體高端設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的企業(yè)之一, 也是江蘇省內(nèi)唯一一家擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的全新集成電路裝備研發(fā)制造高新技術(shù)企業(yè),目前主要產(chǎn)品為8英寸、12英寸槽式濕法刻蝕清洗設(shè)備和單片濕法刻蝕清洗設(shè)備。

據(jù)了解,在機(jī)械、電氣、軟件和仿真領(lǐng)域江蘇亞電積累了豐富的工藝經(jīng)驗(yàn)和深厚的技術(shù)沉淀,形成了多項(xiàng)半導(dǎo)體濕法制程設(shè)備的核心技術(shù)。截至2023年6月30日,公司享有已授權(quán)專利151項(xiàng),其中發(fā)明專利68項(xiàng)。目前,半導(dǎo)體清洗設(shè)備已實(shí)現(xiàn)了對(duì)6英寸、8英寸、12英寸等市場(chǎng)主流晶圓尺寸的全面覆蓋,能夠滿足槽式設(shè)備及28nm以上單片設(shè)備的全部濕法工藝需求,在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域具有領(lǐng)先的市場(chǎng)地位。
目前,亞電科技產(chǎn)品主要應(yīng)用在半導(dǎo)體、光伏等領(lǐng)域。其清洗設(shè)備已經(jīng)在國(guó)內(nèi)頭部晶圓廠、光伏客戶處持續(xù)批量出貨,產(chǎn)品技術(shù)達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。
三、啟動(dòng)IPO輔導(dǎo),完成IPO前億元融資
據(jù)公開信息,目前亞電科技對(duì)外投資企業(yè)有8家,分別為:無(wú)錫亞電智能裝備有限公司、江蘇亞電電子系統(tǒng)工程有限公司、江蘇領(lǐng)創(chuàng)精密電子有限公司、亞電科技(無(wú)錫)有限公司、上海亞電實(shí)業(yè)有限公司、亞電科技(蘇州)有限公司、亞電科技發(fā)展(泰州)有限公司、亞電科技南京有限公司。
其中無(wú)錫亞電項(xiàng)目投資較大,一期總投資15億元,后期還將計(jì)劃建設(shè)項(xiàng)目二期,用于研發(fā)中心的擴(kuò)張和新品試制基地。
根據(jù)江蘇證監(jiān)局信息,江蘇已于2023年12月26日進(jìn)行IPO輔導(dǎo)備案登記,輔導(dǎo)機(jī)構(gòu)為華泰聯(lián)合證券有限責(zé)任公司。這意味著江蘇亞電已經(jīng)啟動(dòng)科創(chuàng)板上市工作。
同時(shí)根據(jù),投資界2024年1月26日消息,江蘇亞電完成超億元Pre-IPO輪融資。也就是說(shuō),江蘇亞電已基本完成了上市之前最后的籌備工作。
對(duì)于,江蘇亞電來(lái)說(shuō),能夠成為一批國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的黑馬,主要得益于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的國(guó)產(chǎn)替代大潮。
因此,隨著美國(guó)對(duì)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)打壓的加深,國(guó)產(chǎn)替代的進(jìn)程必將加快,在此背景之下,國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體專用設(shè)備的發(fā)展將得以提速。亞電科技通過(guò)其濕法刻蝕清洗設(shè)備技術(shù),尤其是槽式濕法刻蝕清洗設(shè)備,攻克了晶圓刻蝕清洗自適應(yīng)供補(bǔ)液等核心技術(shù),實(shí)現(xiàn)我國(guó)高端半導(dǎo)體設(shè)備核心技術(shù)的完全國(guó)產(chǎn)化,有望進(jìn)一步加快實(shí)現(xiàn)在半導(dǎo)體專用設(shè)備領(lǐng)域的進(jìn)口替代。
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