西門子已收購法國初創公司Canopus AI，以擴展其電子設計自動化（EDA）產品組合，新增基于AI的計量與檢測軟件，用于半導體制造。此次收購將計算能力和AI驅動的測量功能更深入地融入西門子從半導體設計到制造的數字線程中。
它針對先進芯片生產中最緊迫的痛點之一：隨著特征尺寸縮小和復雜度激增，如何控制工藝變異并維持良率。這也凸顯了AI正從實驗階段走向半導體價值鏈核心生產工具的趨勢。
AI遇上海量計量
隨著器件節點不斷推進、生產規模擴大，行業越來越依賴“海量計量”來控制良率。傳統檢測和測量方法難以應對先進晶圓廠產生的海量數據。
西門子表示，Canopus AI的技術直接解決了這一挑戰。這家總部位于格勒諾布爾的公司的軟件專注于晶圓和掩膜的AI驅動計量與檢測，利用先進算法從測量數據中挖掘更多價值，并彌合檢測與計量工作流之間的差距。通過整合這些能力，西門子旨在為芯片制造商提供更智能、數據驅動的制造過程洞察。
據西門子稱，此次收購通過將AI增強的計量技術加入其現有EDA和制造軟件棧，進一步鞏固了其在半導體制造生態系統中的地位。
擴展Calibre數字線程
戰略的關鍵是將Canopus AI的技術與西門子的Calibre產品組合深度整合，后者已在計算光刻和制造物理仿真領域占據重要地位。目標是建立設計意圖、光刻仿真與硅片實際打印結果之間更緊密的反饋閉環。
“收購Canopus AI體現了西門子利用工業AI解決半導體制造關鍵挑戰的承諾，”西門子數字工業軟件總裁兼首席執行官Tony Hemmelgarn表示。“通過將我們Calibre產品組合中的計算光刻和制造物理仿真能力與Canopus AI的先進計量與檢測技術相結合，我們正在打造一個差異化的端到端EDA數字線程，提升晶圓圖案打印的保真度，加速良率爬坡，并縮短先進節點進入量產的時間。這一整合進一步推進了我們構建全面、高精度半導體制造數字孿生的愿景，實現亞納米級工藝控制和掩膜開發。”
Canopus AI成立于2021年，專注于其命名為“Metrospection”的AI驅動方法，彌合傳統晶圓計量與檢測之間的差距。其軟件框架幫助晶圓廠和掩膜車間滿足領先節點對極高精度的要求。
交易于2026年1月12日完成，這進一步凸顯了西門子將工業AI更深入嵌入半導體制造工作流的持續努力。
