作者 | 曾樂 陳俊清
編者按：篳路藍縷敲鐘成，上下求索知路遠。這是一檔針對科創領域領袖人物的訪談節目。他們有哪些少為人知的傳奇經歷？企業經營過程中，他們的心路歷程有何變化？《對話科創家》與您一起探尋，以期遠眺未來。
本期，《對話科創家》欄目的嘉賓是盛美上海CEO王堅。
上海集成電路產業沖刺世界級產業集群的關鍵階段，一家扎根張江的半導體設備企業始終站在產業前沿——從打破海外技術壟斷到科創板硬科技標桿，再到成長為全品類平臺型龍頭，盛美上海的發展軌跡，正是上海集成電路產業從追趕到引領的縮影。
近日，盛美上海CEO王堅接受《科創板日報》記者專訪，解碼了這家企業以差異化創新破局全球半導體寡頭格局，助力上海打造世界級集成電路產業集群的實踐與思考。
全球半導體設備行業技術壁壘高筑，泛林半導體、應用材料和東京電子等國際巨頭長期壟斷市場，國內企業面臨技術封鎖、市場準入難等多重挑戰，而盛美上海卻走出了一條獨有的突圍之路：以客戶痛點為導向，堅持全球首創的差異化創新，筑牢核心技術壁壘。
王堅表示，盛美上海的核心競爭力扎根于兩大全球領先技術平臺——半導體清洗設備與先進電鍍設備。清洗領域，自主研發的SAPS/TEBO兆聲波清洗技術為全球首創，2009年獲海力士認可，并于2011年拿下海外訂單，一舉打破海外廠商在高端清洗設備領域的長期壟斷；電鍍領域，掌握多陽極局部電鍍等三大核心技術，能有效提升芯片良率、降低客戶成本，形成難以復制的技術優勢。
立足核心技術，這家企業持續推進創新迭代，加速平臺化產品布局，徹底擺脫核心技術對外依賴。
近期，三款面板級先進封裝新設備接連推出，全球首創的負壓清洗設備實現客戶端量產；自主研發的高產出KrF涂膠顯影設備交付頭部邏輯晶圓廠，填補國內相關領域部分空白。2025年，立式爐管、Track涂膠顯影等設備陸續推向市場，進入客戶驗證與放量階段——其中，KrF涂膠顯影設備晶圓處理產能達每小時300片，處于行業較高水平；1250℃的Ultra Fn立式爐管設備在高端IGBT領域實現突破，市場反饋極佳，下一代產品已規劃將處理能力提升至1350°C。
“我們的核心競爭力，根源就是持續圍繞客戶實際痛點開展原創性技術研發。”王堅強調，這些自主研發的新設備，不僅豐富了產品線、強化了平臺化優勢，更能精準匹配國內晶圓廠、封測廠的本土化需求，成為國產半導體設備進口替代的重要力量。
堅守“技術差異化、產品平臺化、客戶全球化”戰略，盛美上海已構建起覆蓋清洗、電鍍、先進封裝濕法設備，以及立式爐管、涂膠顯影、PECVD等多領域的全場景產品矩陣，且所有設備均擁有全球自主知識產權，成為國內半導體設備領域的標桿企業。
2025年年報數據，印證了這家企業的發展韌性：全年營業總收入67.86億元，同比增長20.80%；歸母凈利潤13.96億元，同比增長21.05%，營收與利潤同步穩健增長。從收入結構看，半導體清洗設備占比69.28%，仍是核心支柱；電鍍、立式爐管等其他半導體設備占比25.54%，成為第二增長曲線；先進封裝濕法設備占比5.18%，穩步增長。
在全球市場，這家張江企業也站穩了腳跟：電鍍設備國際市占率8.2%，全球排名第三；清洗設備國際市占率8.0%，全球排名第四。產品滲透上，清洗設備實現產線95%應用場景全覆蓋，部分客戶采購占比超50%電鍍設備實現100%場景全覆蓋，適配前道制造、后道封裝等多環節，成為營收增長重要支撐。
海外布局步伐也在加快。2025年，四臺設備進入美國市場；2026年，產品落地新加坡，中國臺灣、韓國等重點市場開拓同步推進。“2026年海外開拓速度會明顯快于去年，全球化營收占比有望進一步提升。”王堅說。
當前，企業平臺化布局進入“市場放量”關鍵期。
王堅透露，2026年將實現清洗設備“種類、工藝雙全覆蓋”，提升先進工藝市場占有率；Track涂膠顯影、立式爐管等新產品，將成為未來核心業績增長點。中長期，企業將從“多點布局”轉向“關鍵領域建立絕對優勢”，計劃將清洗、電鍍產品中國市場份額提升至50%-60%，并依托全球首創的面板級水平式先進封裝電鍍設備，布局下一代先進技術，搶占產業高地。
上海市經信委數據顯示，2025年上海集成電路產業規模預計突破4600億元，穩居全國首位，順利實現規模翻番。面向“十五五”，上海正全力沖刺世界級集成電路產業集群，而盛美上海作為本土龍頭，始終與產業同頻共振。
在王堅看來，上海集成電路產業的核心優勢，在于全產業鏈協同與各界聯動協同——上海是國內唯一覆蓋芯片設計、晶圓制造、設備、材料等全環節的城市，形成閉環式產業生態；政府、高校、科研院所、資本等多方發力，為產業提供全方位支撐。而打造世界級集群，本土龍頭企業的引領作用至關重要，核心要堅持差異化創新、發揮“鏈主”作用、營造保護創新的行業生態。
作為深耕上海的半導體設備龍頭，盛美上海已制定清晰規劃，從四大方向賦能上海產業高質量發展：持續深耕差異化創新，推進平臺化產品技術迭代，攻克更多高端設備核心技術；加速全球化布局，以產品出海提升上海半導體設備產業的全球影響力；深化產學研協同，與本地高校、科研院所合作培養高端人才，帶動上下游配套企業成長，助力產業鏈自主可控；筑牢知識產權保護屏障，布局核心專利，呼吁行業重視創新保護，營造良性生態。
同時，王堅也客觀指出，上海集成電路產業打造世界級集群，仍需正視短板。目前，行業部分高端零部件、關鍵材料仍依賴進口，這是核心痛點；集成電路領域高端研發人才、復合型管理人才依舊緊缺。
對此，王堅表示，上海盛美將主動助力國產零部件、材料的開發與驗證，開放設備應用場景與測試機會，推動本土化配套升級，同時建議上海進一步優化人才平臺，深化校企聯合培養，打通技術成果轉化梗阻，讓實驗室技術快速轉化為市場化產品，助力上海集成電路產業實現長遠高質量發展。
