作者 | 張真
近日A股一季報已陸續披露完畢，《科創板日報》梳理了市值高于500億元的8家半導體設備公司，包括北方華創、中微公司、拓荊科技等。整體來看，幾家設備廠商業績呈相對積極之態勢——共有5家實現一季度營收、凈利同比雙增。值得一提的是，中微公司與拓荊科技創下了歸母凈利潤單季度歷史新高。
關于營收、凈利增長原因，上述半導體設備公司不約而同提到AI硬件需求蓬勃對業績的推動作用：
中微公司表示，公司針對先進邏輯和存儲器件制造中關鍵刻蝕工藝的高端產品新增付運量顯著提升，先進邏輯器件中段關鍵刻蝕工藝和先進存儲器件超高深寬比刻蝕工藝實現量產。公司為先進存儲器件和邏輯器件開發的LPCVD,ALD等多款導體和介質薄膜設備已經順利進入市場，薄膜設備的覆蓋率不斷增加，新增付運量保持快速增長。
拓荊科技稱，公司應用于先進制程領域的設備批量獲得客戶驗證通過，量產規模進一步擴大，導致銷售收入大幅增長。
信達證券表示，從當前產業反饋來看，在AI需求加速釋放的帶動下，相關產業鏈上下游整體景氣度維持在較高水平。無論是算力芯片、基礎設施、核心硬件環節，還是配套材料與零部件領域，均呈現出訂單與經營表現同步改善的趨勢，反映出新一輪技術周期對基本面的持續支撐。
在業績普增的同時，各公司持續加大研發投入，強化設備工藝以順應半導體技術演進。數據顯示，上述名單內共7家半導體公司在2026年第一季度研發費用均實現同比增長。
北方華創在去年年報中指出，面對全球半導體技術快速迭代、AI算力浪潮催生的先進工藝與先進封裝設備需求升級，2025年，公司研發投入大幅提升。
中微公司表示，公司以行業領先的研發速度，在短時間內成功開發出十多種薄膜設備,包括LPCVD、ALD、EPI、PVDCuBS和PECVD等產品在先進存儲和先進邏輯市場新增付運量保持快速增長。其于去年年報中提到，隨著晶體管結構的復雜度不斷提升，對各種半導體設備技術的創新和突破起到決定性作用。
在上個月舉行的全球半導體盛會SEMICON China 2026上，北方華創、中微公司等分別發布新一代刻蝕設備。北方華創表示，全球算力與存儲芯片需求的爆發，帶動半導體設備市場持續增長。其設備聚焦先進邏輯與先進存儲領域關鍵刻蝕工藝需求，可滿足更先進節點的芯片制造要求。
中原證券指出，國內半導體設備廠商不斷提升工藝覆蓋度及突破先進制程，隨著國內主要晶圓廠加速擴產，國內半導體設備廠商國產替代
有望持續加速推進。
國金證券表示，2026年初國產化率從2024年的15%躍升至35%，刻蝕/薄膜沉積突破40%。國產替代
從“政策補貼”轉向“訂單驅動”，產業鏈開始兌現利潤。中國產設備首次在主流產線承擔過半角色。國產設備不再停留在實驗室或小批量驗證階段，而是首次進入規模化量產、與國際設備正面競爭的核心戰場。
