2026年5月28日下午，作為第二屆MEMS與傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新領(lǐng)航大會的分會——“MEMS與智能傳感器前沿技術(shù)與場景化應(yīng)用論壇”在湖北孝感乾坤國際大酒店圓滿舉辦。論壇由高端芯片產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展聯(lián)盟、武漢飛恩微電子股份有限公司聯(lián)合主辦，近百位來自中科院、高校、企業(yè)及投資機(jī)構(gòu)的專業(yè)人士齊聚一堂，圍繞光通信、腦機(jī)接口、汽車電子等熱點(diǎn)方向，分享前沿成果與落地案例，現(xiàn)場交流深入，進(jìn)一步夯實(shí)了我國MEMS與智能傳感器產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的基礎(chǔ)。
論壇由武漢飛恩微電子有限公司副總經(jīng)理張光鳳擔(dān)任主持人，作為國內(nèi)MEMS與智能傳感器領(lǐng)域的代表性企業(yè)之一，飛恩微長期深耕汽車電子、壓力傳感器等方向，致力于推動核心芯片與高端傳感器的國產(chǎn)化與產(chǎn)業(yè)化。論壇伊始，中國科學(xué)院蘇州納米所研究員、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)博士生導(dǎo)師沈文江作題為《MEMS在光通信和智能傳感領(lǐng)域中的應(yīng)用討論》的報(bào)告。他率先分享了光學(xué)MEMS在光通信系統(tǒng)與人工智能計(jì)算硬件中的最新進(jìn)展，并在報(bào)告中系統(tǒng)介紹了MEMS技術(shù)在人工智能時(shí)代的應(yīng)用現(xiàn)狀，重點(diǎn)圍繞光學(xué)MEMS在信息領(lǐng)域的光傳感、光通信、光顯示三大方向展開論述。在報(bào)告總結(jié)部分，沈文江指出，光學(xué)MEMS在光交換與光計(jì)算中的可重構(gòu)優(yōu)勢日益凸顯，有望成為AI芯片的關(guān)鍵使能技術(shù)。現(xiàn)場聽眾就OCS工程化進(jìn)展、AR顯示良率等問題與嘉賓進(jìn)行了交流。
中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所助理研究員姜陸月作題為《基于柔性腦機(jī)接口的神經(jīng)解碼與神經(jīng)調(diào)控》的報(bào)告。她介紹了柔性腦機(jī)接口技術(shù)在神經(jīng)解碼與神經(jīng)調(diào)控方面的突破。在應(yīng)用方面，她展示了非人靈長類動物植入256通道超高密度ECoG電極，意念打游戲成功率超90%的成果。她指出，柔性電極與高密度信號采集系統(tǒng)的結(jié)合，為癲癇、抑郁等神經(jīng)系統(tǒng)疾病的精準(zhǔn)診療提供了新路徑。孝感啟元科技創(chuàng)新有限公司創(chuàng)始人、武漢大學(xué)機(jī)器人學(xué)院教授、博導(dǎo)李淼以《機(jī)器人力與觸覺傳感器關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用》為題展開分享，系統(tǒng)梳理了機(jī)器人用六維力傳感器、陣列式觸覺傳感器等核心器件的設(shè)計(jì)與制造難點(diǎn)，并結(jié)合工業(yè)自動化、醫(yī)療康復(fù)機(jī)器人等場景，展示了國產(chǎn)化替代的最新成果。李淼進(jìn)一步指出當(dāng)前人形機(jī)器人對力傳感器提出了動態(tài)范圍、抗沖擊性、成本及可靠性的多重挑戰(zhàn)，并對比了國內(nèi)外廠商在過載能力上的差異。他還提出VTLA觸覺多模態(tài)大模型、多場跨尺度仿真與材料生長強(qiáng)化學(xué)習(xí)等前沿方向，并指出觸覺傳感器當(dāng)前仍面臨材料創(chuàng)新、仿真數(shù)據(jù)高保真生成、產(chǎn)業(yè)化路線選擇等挑戰(zhàn)。
華納創(chuàng)新（蘇州）先進(jìn)制造有限公司董事長胡運(yùn)興帶來《超臨界CO?干燥設(shè)備在MEMS芯片領(lǐng)域的應(yīng)用》主題分享，他重點(diǎn)介紹了超臨界CO?干燥技術(shù)在MEMS芯片濕法刻蝕后處理中的關(guān)鍵作用。他介紹了利用CO?臨界點(diǎn)（31℃、7.4MPa）特性，通過超臨界干燥消除氣液界面與毛細(xì)管力，該設(shè)備可有效避免MEMS微結(jié)構(gòu)（如懸臂梁、諧振器、射頻開關(guān)等）干燥坍塌，顯著提升高深寬比結(jié)構(gòu)良率。現(xiàn)場多位MEMS工藝工程師對該技術(shù)表示高度關(guān)注。茶歇過后，論壇進(jìn)入下半程，議題重心從芯片工藝與器件設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)向場景化應(yīng)用，聚焦汽車智能化與生物醫(yī)療檢測兩大方向。來自SENASIC億創(chuàng)氫能、廣州國家實(shí)驗(yàn)室及北京理工大學(xué)的專家先后帶來技術(shù)報(bào)告，現(xiàn)場討論深入、反響熱烈。SENASIC-USI產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人張軍帶來了題為《高性能端側(cè)傳感芯片設(shè)計(jì)與應(yīng)用》的技術(shù)報(bào)告，他指出傳統(tǒng)傳感芯片僅做信號轉(zhuǎn)換、無自主處理能力，而端側(cè)智能傳感芯片可實(shí)現(xiàn)感知、處理、決策本地化。他系統(tǒng)介紹了端側(cè)AI應(yīng)用核、管理核及保護(hù)電路等架構(gòu)創(chuàng)新，以及AI自動校準(zhǔn)、實(shí)時(shí)降噪、故障識別、壽命管理等生命周期管理方案。他還展示了油箱多合一傳感器等典型產(chǎn)品，以及多款通過AEC-Q100認(rèn)證的車規(guī)級芯片。結(jié)合工業(yè)自動化、人形機(jī)器人等場景，為MEMS傳感器從數(shù)據(jù)采集走向智能感知提供了切實(shí)可行的技術(shù)路徑。
億創(chuàng)氫能源科技（張家港）有限公司創(chuàng)始人兼總經(jīng)理洪紹景作題為《車用燃料電池對MEMS傳感器的應(yīng)用實(shí)踐與需求探討》的報(bào)告演講，他結(jié)合燃料電池實(shí)際運(yùn)行數(shù)據(jù)，分析了壓力傳感器、氫氣濃度傳感器、空氣流量計(jì)及遠(yuǎn)期濕度傳感器等關(guān)鍵部件在實(shí)際應(yīng)用中的性能表現(xiàn)。通過漠河冬標(biāo)及公交車示范運(yùn)行等真實(shí)案例，指出了當(dāng)前MEMS傳感器在極端工況可靠性、長期耐久性及檢測精度等方面存在的不足，呼吁上下游企業(yè)協(xié)同開發(fā)專用車規(guī)級MEMS氫氣傳感器，以滿足燃料電池系統(tǒng)對響應(yīng)速度與長期穩(wěn)定性的真實(shí)需求。廣州國家實(shí)驗(yàn)室研究員門冬聚焦《基于微納傳感的病原現(xiàn)場檢測》展開解讀，他展示了利用微納傳感器實(shí)現(xiàn)呼吸道病原體、消化道病原體的快速現(xiàn)場檢測成果。該技術(shù)無需復(fù)雜樣本處理，檢測時(shí)間可縮短至10-15分鐘，靈敏度達(dá)到單拷貝級別。結(jié)合便攜式檢測設(shè)備與微流控芯片技術(shù)，門冬進(jìn)一步探討了微納傳感器在基層醫(yī)療、突發(fā)公共衛(wèi)生事件響應(yīng)及居家自檢等場景中的轉(zhuǎn)化前景，為病原體即時(shí)檢測提供了高靈敏、低成本、易操作的新路徑。北京理工大學(xué)集成電路與電子學(xué)院教授、集成聲光電微納系統(tǒng)教育部工程研究中心副主任王曉毅壓軸登場，作《CMOS-MEMS單片集成傳感器》主旨報(bào)告。他系統(tǒng)講解了CMOS-MEMS單片集成的技術(shù)路線，并分析了各自在工藝復(fù)雜度、熱預(yù)算、實(shí)用性等方面的優(yōu)劣勢。結(jié)合皮拉尼真空計(jì)、熱式流量傳感器、熱式加速度計(jì)、熱電堆式流量傳感器、流量熱導(dǎo)率雙模態(tài)傳感器等典型案例，展示了CMOS-MEMS技術(shù)在低功耗、高靈敏度、快響應(yīng)及單芯片智能傳感SoC方向上的進(jìn)展。他認(rèn)為，單片集成是降低MEMS傳感器功耗與尺寸、提升智能化水平的關(guān)鍵路徑，國內(nèi)在該領(lǐng)域正加速追趕國際先進(jìn)水平。本次論壇從基礎(chǔ)器件、關(guān)鍵工藝到系統(tǒng)應(yīng)用，全面呈現(xiàn)了MEMS與智能傳感器技術(shù)的最新進(jìn)展與產(chǎn)業(yè)痛點(diǎn)。從光學(xué)MEMS的前沿探索，到柔性腦機(jī)接口的神經(jīng)解碼；從機(jī)器人觸覺傳感器的關(guān)鍵突破，到超臨界干燥設(shè)備的工藝創(chuàng)新；從車規(guī)級MEMS的真實(shí)需求，到病原現(xiàn)場檢測的微納實(shí)踐——本次論壇橫跨基礎(chǔ)器件、核心工藝與系統(tǒng)應(yīng)用，全景式呈現(xiàn)了MEMS與智能傳感器技術(shù)的最新進(jìn)展與產(chǎn)業(yè)化過程中面臨的真實(shí)痛點(diǎn)。與會專家一致認(rèn)為，當(dāng)前MEMS傳感器正站在從“功能器件”向“智能系統(tǒng)節(jié)點(diǎn)”演進(jìn)的關(guān)鍵拐點(diǎn)。人工智能、新能源、生物醫(yī)療等場景的深度拓展，既對傳感器的精度、功耗、集成度提出了更高要求，也為技術(shù)創(chuàng)新提供了廣闊舞臺。論壇期間，產(chǎn)學(xué)研各方代表圍繞工藝協(xié)同、標(biāo)準(zhǔn)共建、場景對接等議題展開了務(wù)實(shí)對話，達(dá)成多項(xiàng)合作意向。
這場思想與技術(shù)的碰撞，不僅凝聚了行業(yè)共識，更為我國MEMS與傳感器產(chǎn)業(yè)鏈的自主創(chuàng)新與協(xié)同發(fā)展注入了新的動力。期待明年再聚，共赴智能傳感新未來。
