5月7日,穩懋半導體發布公告稱,計劃3年內投資100億新臺幣(約23億人民幣),在臺灣南科園建設廠房,今年下半年開工,預計3年后量產。
2020年12 月,穩懋預估南科園廠房投入總價款不超過26.5億新臺幣(6.13億人民幣),因此,加上這次追加的投入,一期廠房投資額約為30億人民幣。
據介紹,穩懋第一階段將興建包括一棟芯片廠及周邊的辦公空間、廢水處理、機電等相關廠務設施。
穩懋董事長陳進財在2020年10月表示,整個南科園的建設投入將達到850億新臺幣(約196億人民幣),建設完成后,穩懋的南部產能將是北部總廠區的2倍以上,月產能將超10萬片。

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不過,貌似這次擴產跟氮化鎵關系不大。據“三代半風向”了解,目前穩懋的第3代半導體產值相對仍低,從產能來看,目前穩懋月產800片氮化鎵晶圓就足以滿足大部分客戶的需求,氮化鎵占穩懋營收也僅約5%;相較之下,砷化鎵的月產能達4萬片。

在氮化鎵方面,穩懋也早有準備。陳進財曾表示,“穩懋10年前就開始研究第3代半導體,3年前就開始交貨。”
據“三代半風向”了解,在中國臺灣,代工廠穩懋、臺積電和環球晶在2010年就進入RF GaN 領域。
2014年,穩懋的NP25技術投入生產,該技術采用0.25μm柵極GaN-on-SiC工藝,它是在4英寸的碳化硅襯底上制造,可工作在28V的漏極偏置下。NP25在10GHz時可提供5W / mm的飽和輸出功率,19dB的線性增益和超過65%的功率附加效率。
2018年6月,穩懋又發布了0.45μm柵極技術——NP45-11,該技術在100毫米的碳化硅襯底上制造,可工作在50伏的漏極偏置下。在2.7 GHz頻帶中,該技術可提供7瓦/毫米的飽和輸出功率,18 dB的線性增益和超過65%的功率附加效率,而無需諧波調諧。

2019年6月,穩懋發布了0.15μm柵極技術——NP15-00,可工作在20V的漏極偏置下,在29GHz頻帶中,NP15-00提供3W / mm的飽和輸出功率,具有13dB的線性增益,并且效率高出50%,而無需諧波調諧。
那么,穩懋是如何實現這樣的性能?
首先,穩懋創造了一種GaN MMIC工藝,可以實現厚度為4毫米的氣橋金屬和1微米的全局互連金屬。

圖:穩懋的GaN工藝包括:鑲嵌T型柵極和疊加的源極耦合場板。4 μm厚的空氣橋增強了電流處理能力,并提供了高Q電感器。
其次,穩懋重新設計了GaN-on-SiC HEMT的背面處理,這包括:對SiC和GaN襯底進行高速蝕刻;改進晶圓封裝介質,其中包括專用的粘合蠟和襯底;處理高速蝕刻過程中副產物的形成以及隨后要重復去除的副產物;以及背面籽層優化,可在寬度小于30μm的100 mm深通孔中獲得良好的附著力和保形覆蓋。
另外,穩懋的其他加工技術還包括對拆卸高應力減薄晶片方面進行改進;采用對極硬的SiC材料進行高速鋸切,使得碎屑最少;優化膠帶材料,并注意控制所有許多流程之間的相互作用。

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