2026未來產(chǎn)業(yè)新材料博覽會（FINE）
第十屆國際碳材料產(chǎn)業(yè)博覽會(Carbontech 2026)
熱管理產(chǎn)業(yè)博覽會(iTherM 2026)
FINE 2026，以40,000平展區(qū)與超過300場科技與產(chǎn)業(yè)報告，圍繞AI數(shù)據(jù)中心、具身智能、低空經(jīng)濟、航空航天、智能汽車等產(chǎn)業(yè)的五大共性關(guān)鍵需求（先進半導體、先進電池、輕量化、低碳可持續(xù)、熱管理），呈現(xiàn)從終端、部件、材料、技術(shù)裝備到前沿科技的全鏈條創(chuàng)新成果，打造一站式交流、合作與采購平臺。
熱烈歡迎【杭州晶馳機電有限公司】亮相FINE2026展，展位號N1A10A，6月10-12日，上海新國際博覽中心（N1-N4），歡迎洽談合作與指導。
企業(yè)更多資訊請聯(lián)系：劉艷，18349977290（微信同號）
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一 企業(yè)介紹
杭州晶馳機電有限公司成立于2021年，公司總部位于杭州市蕭山區(qū)浙江大學杭州國際科創(chuàng)中心，是“國家高新技術(shù)企業(yè)”、“浙江省科技型中小企業(yè)”，并入庫規(guī)上工業(yè)。公司分別與浙江大學杭州國際科創(chuàng)中心、杭州電子科技大學共建聯(lián)合實驗室，主營第三代、第四代半導體裝備制造與銷售，包括碳化硅長晶系列設(shè)備（PVT）、金剛石薄膜沉積系列設(shè)備（MPCVD）、氮化鋁長晶系列設(shè)備（AIN）。
二 產(chǎn)品介紹
（1）碳化硅晶體生長設(shè)備
該碳化硅晶體生長設(shè)備采用物理氣相傳輸法(PVT)，具有多個溫區(qū)，在一定溫差范圍內(nèi)相互獨立可控。籽晶升降系統(tǒng)確保籽晶在晶體生長熱場內(nèi)的生長位置可調(diào)。石墨坩堝旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)可以進一步的保證晶體生長熱場的均勻性。自動化程度高，可穩(wěn)定生長高質(zhì)量的6-12英寸SiC單晶。
（2）碳化硅粉料合成爐
該設(shè)備為碳化硅粉料合成設(shè)備，采用感應(yīng)加熱方式，在氬氣、氮氣（或二者的混合氣）、或其它工藝氣體氣氛中，利用自蔓延法合成碳化硅粉料的設(shè)備。 滿足半絕緣和導電型碳化硅粉料合成環(huán)境。
雙層石英筒水冷結(jié)構(gòu)，可有效提高腔室壽命，提供穩(wěn)定的長晶環(huán)境，利于生長高品質(zhì)晶體。
一鍵智能啟動，減少人工干預(yù)，有利于規(guī)模化生產(chǎn)。
（3）單腔立式外延爐
相較現(xiàn)有立式外延爐有更低的硬件成本,更小的占地面積;
兼容4/6/8寸晶圓外延生長,成膜質(zhì)量好,可實現(xiàn)厚外延層快速生長；
更長的維護周期,更低的耗材成本；
（4）蝶形腔微波等離子體沉積系統(tǒng)
該設(shè)備為微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)，該設(shè)備為多模耦合系統(tǒng)模式。可以穩(wěn)定生長金剛石單晶、多晶薄膜材料，通過工藝調(diào)節(jié)，可以穩(wěn)定生長出3英寸金剛石晶圓薄膜。
設(shè)備特點在于掀蓋式腔體設(shè)計，便于操作及清潔，從而提高生產(chǎn)效率。可用于生產(chǎn)寶石(實驗室培育金剛石)、光學元件及光學級多晶金剛石薄膜、超高硬度切割工具、半導體散熱器、高功率半導體元件等。
（5）75KW環(huán)形天線微波等離子體沉積系統(tǒng)
該設(shè)備為微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)(MWCVD)。采用915MHz頻率的微波源激發(fā)穩(wěn)定的等離子體。該設(shè)備可以穩(wěn)定生長金剛石單晶材料、多晶晶圓。通過工藝調(diào)節(jié)，可以穩(wěn)定生長出4英寸(~6英寸)的金剛石晶圓薄膜。
主要應(yīng)用領(lǐng)域：半導體襯底、熱沉片、珠寶、刀具、機械密封、新一代移動通信、智能電網(wǎng)、消費類電子等。
三 參展聯(lián)系
李經(jīng)理
13373875075（微信同號）
luna@polydt.com
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