
半導體材料的發展經歷了四代:第一代是硅(Si),第二代是砷化鎵(GaAs),第三代是碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN),而第四代的核心代表就是氧化鎵(Ga?O?)。
評判一種半導體材料好壞,有一個關鍵指標叫禁帶寬度——可以通俗理解為材料“扛電壓”的能力。禁帶寬度越大,材料越能承受高電壓、高溫和強輻射。氧化鎵的禁帶寬度高達4.8至5.0電子伏特(eV) ,而碳化硅只有3.3 eV,氮化鎵為3.4 eV。也就是說,硅是能扛100伏的普通電線,碳化硅是能扛300伏的高壓線,那氧化鎵就是能扛近500伏的特高壓電纜。

不僅如此,氧化鎵的理論擊穿場強高達8 MV/cm,是氮化鎵的兩倍多;其導通特性約為碳化硅的10倍,理論損耗僅為硅的三千分之一、碳化硅的六分之一。這意味著,用氧化鎵制造的功率器件,可以在更小的體積下承受更高的電壓、通過更大的電流,同時產生更少的熱量損耗。
正因如此,氧化鎵被公認為下一代高壓功率電子器件的理想材料,在新能源汽車快充、光伏逆變器、智能電網、軌道交通、AI算力中心、國防雷達乃至商業航天等領域擁有廣闊的應用前景。
然而,理想很豐滿,現實很骨感。長期以來,氧化鎵產業面臨著三大技術和產業難題。
第一,尺寸小。全球氧化鎵產業長期受限于2至4英寸的小尺寸產能瓶頸,海外廠商無法實現6英寸及以上同質外延的商業化供貨。小尺寸晶圓意味著單批芯片產出少,成本居高不下。

第二,成本高。氧化鎵單晶生長傳統上需要大量使用貴金屬銥(Ir)作為坩堝材料,銥的價格堪比黃金,導致襯底成本極其昂貴。此前,僅2英寸的氧化鎵外延片進口價格就高達3萬元人民幣,更大尺寸的價格更是天文數字。
第三,質量差。氧化鎵同質外延片在全球范圍內存在均一性差、批次不穩定等痛點,很難滿足產業化的大批量、高品質需求。
此次鎵仁半導體的突破,恰恰是同時解決了上述三大難題。
在長晶環節,鎵仁半導體采用全球獨創的鑄造法單晶生長技術——這項技術由浙江大學楊德仁院士團隊自主研發,擁有完全自主知識產權。鑄造法可以穩定生長出超厚氧化鎵晶體,結合自主開發的超薄襯底加工技術,單塊晶體的襯底出片量提升至傳統工藝的3至4倍。更重要的是,鑄造法大幅減少了貴金屬銥的用量,使襯底單片成本降低80%以上。一塊原本要賣3萬元的2英寸外延片,如今6英寸的產品也能以可接受的成本批量供應。

在外延環節,鎵仁半導體針對(100)晶面的氧化鎵材料特性,開發了定制化的MOCVD(金屬有機物化學氣相沉積)外延工藝。其出品的6英寸氧化鎵同質外延片,外延層厚度超過10微米,膜厚方差小于1% ,均勻性優異。也就是說,每一片晶圓上長出來的“薄膜”厚度幾乎一模一樣,這對后續芯片制造至關重要——均勻性越好,器件良率越高。
在全鏈條能力上,鎵仁半導體一舉打通了“單晶—襯底—外延”的全流程穩定量產能力,建立了“設備—晶體—襯底—外延”的完整自主產業鏈,關鍵環節實現100%自主可控。
三、國產半導體產業的“換道超車”
根據日本市場調查公司富士經濟預測,到2030年全球氧化鎵功率器件市場規模將達到約1542億日元(約12.2億美元)。另有預測顯示,到2030年氧化鎵功率半導體市場規模將達15億美元。中國市場的增速更快,器件加封測環節到2030年預計將達到67.9億元。氧化鎵正處于產業化暴發的前夜。

目前,鎵仁半導體已成為全球首家且唯一一家實現6英寸氧化鎵同質外延商業化供貨的企業,海外多家企業和科研機構已陸續下單,部分合作客戶已開展長期穩定采購。這意味著,在第三代、第四代半導體材料領域,中國與全球頂尖水平的差距正在迅速縮小,甚至在部分賽道實現了領先。
此前,日本在第四代半導體產業化方面長期領先,日本生產的2英寸、4英寸、6英寸氧化鎵產品向中國銷售的價格極高。而如今,鎵仁半導體不僅打破了這種壟斷,更在6英寸同質外延量產這個關鍵環節上實現了全球領先。

早在2025年2月,鎵仁半導體就發布了全球首顆第四代半導體氧化鎵8英寸單晶,成為國際上首家掌握8英寸氧化鎵單晶生長技術的企業。從2022年的2英寸,到2023年的4英寸,到2024年的6英寸,再到2025年的8英寸——鎵仁半導體創造了每年升級一個尺寸的行業記錄。
如今,這條6/8英寸兼容量產線的投產,意味著氧化鎵不再是束之高閣的“實驗室樣品”,而是成為了成本可控、供應穩定、可量產的半導體產品。