據麥姆斯咨詢報道，2026年8月28日至8月30日，南京郵電大學副教授鄭旭騫將參加《第82期“見微知著”培訓課程：MEMS壓力傳感器技術及應用》并進行授課，具體信息如下：
授課主題：NEMS諧振式壓力傳感器
授課老師簡介：
鄭旭騫，博士，南京郵電大學集成電路科學與工程學院（產教融合學院）副教授、碩士生導師。2019年畢業于美國凱斯西儲大學，獲博士學位，2019-2022年在美國佛羅里達大學從事博士后研究工作。他長期從事二維材料、寬禁帶/超寬禁帶材料的微納機電系統（MEMS/NEMS）諧振器研究，在Nano Lett.、Nanoscale、Appl. Phys. Lett.、ACS Appl. Mater. Interfaces等高水平期刊發表論文20余篇，發表各類頂級國際會議論文15篇，總引用1400余次；主持和參與國家重點研發計劃、國家自然科學基金、江蘇省自然科學基金等項目。他入選江蘇省青年科技人才托舉工程資助對象，同時擔任中國儀器儀表學會微納器件與系統技術分會委員，Chip期刊青年編委等職位。
授課背景及內容：
MEMS諧振式壓力傳感器通過微諧振器將被測壓力轉換為諧振頻率變化，并由讀出電路完成頻率信號檢測，從而實現壓力測量。由于頻率信號具有數字化輸出、抗干擾能力強、易于實現高精度測量等優勢，MEMS諧振式壓力傳感器已成為高精度壓力測量領域的重要技術路線，被應用于航空航天、氣象測量、石油勘探和高端工業過程控制。NEMS是在MEMS基礎上進一步縮小結構尺寸形成的新一代微納系統，其典型特征尺寸進入100 nm甚至10 nm量級。從MEMS到NEMS，尺寸效應帶來的非理想因素日益突出，需要結合表面工程、材料優化及頻率補償算法進行協同設計。近年來，隨著電子束曝光、深紫外光刻、聚焦離子束加工以及二維材料制備技術的發展，NEMS諧振式壓力傳感器逐漸從實驗室驗證走向原型器件開發，展現出超高靈敏度和超低檢測極限。本課程講解NEMS諧振式壓力傳感器原理和技術，介紹NEMS諧振器材料體系與器件全景，分析當前面臨的挑戰并展望未來趨勢。
基于電容檢測的諧振式壓力傳感器
基于范德華異質結NEMS諧振器實現溫度穩定性的設計及概念示意圖
課程提綱：
1. 從MEMS到NEMS諧振式壓力傳感器；
2. NEMS諧振式傳感器物理基礎；
3. NEMS諧振式壓力傳感器典型案例；
4. NEMS諧振器材料體系與器件全景；
5. NEMS諧振式壓力傳感器挑戰、展望與總結。
培訓詳情：
https://www.memstraining.com/training-82.html
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