據(jù)麥姆斯咨詢報道，2026年8月28日至8月30日，南京郵電大學副教授王艷將參加《第82期“見微知著”培訓課程：MEMS壓力傳感器技術(shù)及應用》并進行授課，具體信息如下：
授課主題：聲表面波（SAW）壓力傳感器技術(shù)及應用
授課老師簡介：
王艷，博士，現(xiàn)任南京郵電大學電子與光學工程學院和柔性電子（未來技術(shù)）學院副教授、碩士生導師。她2012年畢業(yè)于南京大學聲學專業(yè)，獲得聲學專業(yè)博士學位，長期從事壓電薄膜材料制備與聲表面波器件研制工作，主要研究方向包括SAW傳感器、諧振器及及其在傳感領(lǐng)域的應用等。近年來，她的研究工作進一步拓展至柔性聲學傳感與智能感知系統(tǒng)，開展聲表面波技術(shù)在柔性電子與機器人傳感領(lǐng)域的應用探索。她先后主持國家自然科學基金青年基金、江蘇省高校自然科學基金等項目，并作為核心成員參與多項國家自然科學基金及橫向課題，相關(guān)成果發(fā)表于Sensors and Actuators A/B、IEEE T-UFFC、Science China等國內(nèi)外學術(shù)期刊。
授課背景及內(nèi)容：
聲表面波（SAW）是指能量集中在固體材料表面或界面附近，并沿其表面?zhèn)鞑サ囊环N彈性波（機械波）。聲表面波壓力傳感器通常采用“MEMS壓力敏感薄膜+SAW諧振器”的結(jié)構(gòu)形式，當外界壓力作用于傳感器芯片時，敏感薄膜產(chǎn)生微小形變，引起聲表面波傳播路徑上的應力分布變化，導致傳播速度或諧振頻率發(fā)生改變，然后可通過無線（或有線）方式檢測相位偏移或頻率變化即可計算出壓力測量值。憑借無線無源、高可靠性和抗電磁干擾等優(yōu)勢，聲表面波壓力傳感器在許多傳統(tǒng)MEMS壓力傳感器難以勝任的場景中展現(xiàn)出獨特優(yōu)勢，例如在航空航天領(lǐng)域，它可用于發(fā)動機燃燒室、液氧液氫輸送管路，實現(xiàn)高溫、高壓環(huán)境下的無線壓力測量；在能源與電力領(lǐng)域，它可應用于油氣井壓力監(jiān)測、核電設備狀態(tài)監(jiān)測以及高壓變電設備在線檢測，實現(xiàn)長期免維護運行。本課程講解聲表面波壓力傳感器基礎(chǔ)知識和關(guān)鍵技術(shù)，涵蓋MEMS設計與制造、溫度-壓力解耦方法等內(nèi)容，同時介紹聲表面波壓力傳感器的應用場景與技術(shù)挑戰(zhàn)。
基于氮化鋁（AlN）的SAW壓力傳感器示例
SAW壓力、溫度及濕度傳感器示例
課程提綱：
1. 聲表面波基礎(chǔ)知識及聲表面波傳感器概述；
2. 聲表面波壓力傳感器的MEMS設計與制造；
3. 聲表面波溫度-壓力解耦方法；
4. 聲表面波壓力傳感器的應用場景與技術(shù)挑戰(zhàn)；
5. 從剛性傳感到柔性共形——柔性機器人中的壓力傳感需求分析。
培訓詳情：
https://www.memstraining.com/training-82.html
《安費諾NovaSensor壓力傳感器芯片P111產(chǎn)品分析》
《安費諾NovaSensor壓力傳感器芯片P883產(chǎn)品分析》
《邁來芯MEMS絕對壓力傳感器MLX90834產(chǎn)品分析》
《Merit Sensor壓力傳感器及MEMS芯片產(chǎn)品分析》
《博世氣壓傳感器BMP581產(chǎn)品分析》
《First Sensor工業(yè)級STARe壓力傳感器芯片產(chǎn)品分析》
