引言：談到芯片，我們可能會想到計算芯片、存儲芯片、通信芯片和AI芯片等，但對于一些MEMS傳感器用的邊緣芯片，我們知之甚少。然而，正如國納科技醬之前所提到的，MEMS傳感器芯片的重要性不容忽視：中高端MEMS產品有超過80%被國外巨頭占領。本期開始我們以微差壓傳感器為例，來談一下MEMS的重要性。MEMS壓差傳感器是一種廣泛應用于航空、氣象、醫療、工業、汽車和暖通新風潔凈室等領域的關鍵傳感器。它能夠測量流體或氣體中的壓差變化，從而提供寶貴的數據用于控制、監測和診斷等應用。
昨天，我們談到小小MEMS微差壓傳感器在醫院空氣壓差控制的關鍵作用，今天我們來簡單聊一聊小小MEMS微差壓傳感器在潔凈室的大作用。
一般來說，相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。需要注意的是，這里的壓差都是正壓，目的是避免潔凈室周圍空間的顆粒物進入，影響潔凈區的潔凈度。
為了監測各潔凈區域的壓差，進而通過潔凈控制系統來保持壓差在規定的范圍內，MEMS微差壓傳感器就出現了。通過MEMS微差壓傳感器的監測，可以驗證完成設施與周圍環境之間以及設施內空間之間保持指定壓差的能力。
通常情況下，MEMS微差壓傳感器的一個端口通過管道連接到被監測的潔凈室，而另一側通過管道連接到受風影響的壓力穩定位置的公共參考點。公共參考點的位置應該有較大的體積、較少的開口，并且相對于外部沒有壓力變化或變化速度較慢。測量時需要注意以下事項：
傳感器的靜壓差測量是在潔凈車間所有門完全關閉的情況下進行的。
按從高潔凈度房間到低潔凈度房間的順序，一直到直接通往室外的房間。
測量管口設置在室內空氣不受干擾的地方。
測量數據應精確到1.0Pa。
這里，我們還需要注意影響潔凈區壓差的一些因素：
風量：風量是指單位時間內通過一個特定截面積的空氣體積。風量越大，潔凈區壓差就越大，而且對于某些類型的工業生產線來說，需要更高的風量來確保它們能夠正常運行。
過濾器：過濾器是用于過濾空氣中微小顆粒和液體顆粒等雜質的裝置。如果過濾器損壞或者沒有正確安裝，則會影響到潔凈區內外之間的氣流，并可能導致空氣中污染物進入到潔凈區內部。
氣密性：潔凈室的氣密性對于保持潔凈區壓差非常重要。如果潔凈室的氣密性不好，就會導致空氣從外部流入到潔凈區內部，不僅影響潔凈度，還會影響潔凈區的壓差。
溫度和濕度：溫度和濕度也會影響到潔凈區壓差。如果溫度和濕度變化過大，就會導致空氣的密度發生變化，從而影響到潔凈區內外之間的氣流方向和速度。
