先進(jìn)封裝鉆孔加工不易開(kāi)裂？電氣硝子推出新型玻璃-陶瓷基板GCCore

6 月 12 日消息，日本電氣硝子近日宣布推出新型半導(dǎo)體基板材料 GC（IT之家注：即 Glass-Ceramics “玻璃-陶瓷”） Core。相較于有機(jī)基板，玻璃基板更為堅(jiān)固，表面更為光滑，更便于承載超精細(xì)電路，是先進(jìn)封裝領(lǐng)域的明星技術(shù)。英特爾、三星等一系列重要半導(dǎo)體企業(yè)均已在這個(gè)方向發(fā)力。

然而，玻璃材質(zhì)本身的脆性又在一定程度上限制了玻璃基板的應(yīng)用：

玻璃基板的最大優(yōu)勢(shì)是其支持構(gòu)建 TGV（玻璃通孔）垂直通道，但目前使用常見(jiàn)的 CO₂?激光器在玻璃基板上鉆孔時(shí)容易出現(xiàn)裂紋，最終可能導(dǎo)致基板破裂。

如果想避免這一問(wèn)題，則要改用激光改性和蝕刻處理來(lái)打孔。這一方案不僅技術(shù)上更為麻煩，也將引入額外開(kāi)支。

電氣硝子此次開(kāi)發(fā)出的 GC Core 基板芯材由玻璃粉末和陶瓷粉末低溫共燒而成，擁有陶瓷的部分性質(zhì)，不易產(chǎn)生裂紋，可直接使用 CO₂?激光器鉆孔，降低量產(chǎn)成本。

不僅如此，使用 GC Core 材料的基板擁有較低的介電常數(shù)和極化損耗，可減少超精細(xì)電路的信號(hào)衰減，提升電路信號(hào)質(zhì)量。

此外，電氣硝子的 GC Core 基板較傳統(tǒng)玻璃基板更為堅(jiān)固，可進(jìn)一步降低基板厚度。

通過(guò)調(diào)整玻璃和陶瓷粉末的比例，電氣硝子可根據(jù)半導(dǎo)體客戶的需求定制 GC Core 基板，目前其可生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)低介電常數(shù)型、高熱膨脹系數(shù)型和高機(jī)械強(qiáng)度型三種產(chǎn)品。

電氣硝子表示，該企業(yè)已成功生產(chǎn)了 300*300mm 方形 GC Core 基板，目標(biāo)到 2024 年底將這一尺寸擴(kuò)大到 510*510mm。

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