W1館主論壇：半導(dǎo)體及加工產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀與趨勢
2024年12月5日 星期四 上午
09:30-09:40
開幕致辭
09:40-10:10
SiC產(chǎn)業(yè)發(fā)展分析與技術(shù)的新進(jìn)展
趙正平，中國電子科技集團有限公司原副總經(jīng)理
10:10-10:40
報告方向：超精密拋光技術(shù)研究進(jìn)展
袁巨龍，浙江工業(yè)大學(xué)超精密加工技術(shù)研究中心主任
10:40-11:10
茶歇/展區(qū)參觀
11:10-11:40
報告方向：芯片級金剛石晶圓
江南，中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所研究員
11:40-12:10
報告方向：大功率芯片散熱的解決方案
郭躍進(jìn)，深圳大學(xué)異質(zhì)異構(gòu)國家重點實驗室研究員、原Intel公司首席專家
寬禁帶半導(dǎo)體及創(chuàng)新應(yīng)用論壇
2024年12月5日 星期四 全天
10:20-10:25
開幕致辭
10:25-11:00
議題待定
王英民，中國電子科技集團公司第四十六研究所首席專家
11:00-11:25
第三代半導(dǎo)體表面處理技術(shù)及裝備
王德君，大連理工大學(xué)教授
11:25-11:45
基于氮化鎵半導(dǎo)體的微波無線供電技術(shù)
敖金平，江南大學(xué)教授
11:45-12:05
以碳化硅為代表的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)演進(jìn)及未來趨勢
梁赫，重慶鬃晶科技有限公司總經(jīng)理
12:05-13:30
午餐/休息/展區(qū)參觀
13:30-13:55
Si基GaN器件及系統(tǒng)研究與產(chǎn)業(yè)前景
于洪宇，南方科技大學(xué)深港微電子學(xué)院院長
13:55-14:20
報告方向：金剛石半導(dǎo)體器件產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展
王宏興，西安交通大學(xué)教授
14:20-14:40
磨拋工藝在超寬禁帶半導(dǎo)體材料襯底制備中的應(yīng)用
王彬，合美半導(dǎo)體（北京）有限公司總經(jīng)理
14:40-15:10
茶歇/展區(qū)參觀
15:10-15:35
報告方向：晶圓鍵合
王晨曦，哈爾濱工業(yè)大學(xué)教授
15:35-16:00
金剛石薄膜的制備與電學(xué)性能研究
胡曉君，浙江工業(yè)大學(xué)教授
16:00-16:20
報告方向：半導(dǎo)體先進(jìn)鍵合集成技術(shù)與應(yīng)用
母鳳文，北京青禾晶元半導(dǎo)體科技有限責(zé)任公司、天津中科晶禾電子科技有限責(zé)任公司董事長兼總經(jīng)理
16:20-16:40
山東大學(xué)團隊（邀請確認(rèn)中）
超硬材料與超精密加工論壇
2024年12月6日 星期五 全天-2024年12月7日 星期六 上午
01 先進(jìn)加工技術(shù)及應(yīng)用方案專題
12月6日 周五 上午
09:25-09:30
開幕致辭
09:30-09:55
議題待定
康仁科，大連理工大學(xué)教授
09:55-10:20
大口徑晶圓橢圓超聲輔助磨拋減薄技術(shù)研究吳勇波，南方科技大學(xué)教授
10:20-10:50
茶歇/展區(qū)參觀
10:50-11:15
金剛石的超精密加工技術(shù)現(xiàn)狀與發(fā)展
趙清亮，哈爾濱工業(yè)大學(xué)教授
11:15-11:40
化學(xué)氣相法制備單晶微刃金剛石磨料及工具新技術(shù)
孫方宏，上海交通大學(xué)教授
11:40-12:05
納秒激光誘導(dǎo)活性金屬等離子體反應(yīng)刻蝕單晶CVD金剛石研究
溫秋玲，華僑大學(xué)副教授
02 半導(dǎo)體切磨拋難題解決方案專題
12月6日 周五 下午
13:30-13:55
碳化硅晶圓減薄磨削裝備及砂輪技術(shù)
尹韶輝，湖南大學(xué)無錫半導(dǎo)體先進(jìn)制造創(chuàng)新中心主任
13:55-14:20
金剛石加工碳化硅晶圓襯底技術(shù)現(xiàn)狀與趨勢
栗正新，河南工業(yè)大學(xué)材料學(xué)院教授、河南工大高新產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院院長
14:20-14:45
金剛石襯底化學(xué)機械拋光原子級去除機理探討
戴媛靜，清華大學(xué)天津高端裝備研究院常務(wù)副所長
14:45-15:05
金剛石超光滑與平坦化工藝路徑探索
鄧輝，南方科技大學(xué)機械與能源工程系研究員
15:05-15:30
茶歇/展區(qū)參觀
15:30-15:55
碳化硅晶圓加工過程面臨的挑戰(zhàn)與對策
張保國，河北工業(yè)大學(xué)教授
15:55-16:20
金剛石晶圓的磨拋一體化加工研究進(jìn)展
陸靜，華僑大學(xué)教授
16:20-16:40
硬脆材料的金剛石線切割過程切割力動態(tài)建模
梁列，西安理工大學(xué)青年教師
12月7日 周六 上午
10:00-12:00
閉門討論：半導(dǎo)體CMP拋光“卡脖子”難點探討
金剛石前沿應(yīng)用及產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇
2024年12月5日 星期四?下午-2024年12月7日 星期六 上午
金剛石生長與前沿應(yīng)用專題
12月5日 周四 下午
13:30-13:35
開幕致辭
13:35-14:00
金剛石增強導(dǎo)熱復(fù)合材料與技術(shù)
朱嘉琦，哈爾濱工業(yè)大學(xué)教授
14:00-14:25
報告方向：金剛石量子前沿科技
Milos Nesladek，哈塞爾特大學(xué)教授
14:25-14:45
議題待定
Rahul Gaywala，印度Sahajanand Technologies Private Limited公司CEO
14:45-15:10
茶歇/展區(qū)參觀
15:10-15:35
報告方向：金剛石信息功能傳感和電子器件
廖梅勇，日本國立物質(zhì)材料研究所（行程確認(rèn)中）
15:35-15:55
金剛石量子傳感器的研究與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用
趙博文，安徽省國盛量子科技有限公司創(chuàng)始人
15:55-16:15
硼摻雜金剛石電極的調(diào)控與電化學(xué)工程應(yīng)用
魏秋平，中南大學(xué)教授
16:15-16:35
純凈氫源，開啟鉆石新篇
李倩倩，普敦實驗室設(shè)備(上海)有限公司產(chǎn)品經(jīng)理
16:35-16:55
高靈敏性金剛石熱敏電阻器件研究新進(jìn)展
陳巧，中國地質(zhì)大學(xué)（武漢）副教授
熱管理應(yīng)用及產(chǎn)業(yè)化解決方案專題
12月6日 周五 全天
09:30-09:55
金剛石在激光領(lǐng)域的應(yīng)用研究
杭寅，中國科學(xué)院上海光機所研究員
09:55-10:20
三維集成金剛石先進(jìn)散熱技術(shù)進(jìn)展
于大全，廈門大學(xué)教授
10:20-10:45
使用CVD金剛石散熱器提升高功率密度芯片的性能
lan Friel，元素六業(yè)務(wù)拓展經(jīng)理、首席科學(xué)家
10:45-11:10
茶歇/展區(qū)參觀
11:10-11:35
金剛石材料的激光加工
王成勇，廣東工業(yè)大學(xué)副校長
11:35-12:00
CVD金剛石散熱材料制備及產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用
魏俊俊，北京科技大學(xué)教授
12:00-12:20
太原理工大學(xué)團隊（行程確認(rèn)中）
12:20-13:30
午餐/休息/展區(qū)參觀
13:30-13:55
金剛石常溫鍵合技術(shù)在高性能半導(dǎo)體器件散熱中的應(yīng)用
梁劍波，大阪公立大學(xué)副教授
13:55-14:20
朝著光束全方位調(diào)控的金剛石激光技術(shù)
白振旭，河北工業(yè)大學(xué)教授
14:20-14:40
傳統(tǒng)MPCVD反應(yīng)器中氣相成核對納米及多晶金剛石生長的影響
Mariia Lambrinaki，蘇州思體爾軟件科技有限公司CEO
14:40-15:00
精密磨拋技術(shù)在金剛石材料加工中的應(yīng)用
梁浩，北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
15:00-15:30
茶歇/展區(qū)參觀
15:30-15:55
集成電路先進(jìn)封裝的鉆石中介層
宋健民博士
15:55-16:15
微射流激光先進(jìn)技術(shù)基于大尺寸金剛石高品質(zhì)分片及微流通道制備方案
楊森，西安晟光硅研半導(dǎo)體科技有限公司
16:15-16:25
小分子液態(tài)源MPCVD制備超納米金剛石薄膜材料及應(yīng)用研究
熊鷹，西南科技大學(xué)教授
16:25-16:45
基于COMSOL仿真的圓柱形諧振腔MPCVD中金剛石沉積的調(diào)控
楊黎，昆明理工大學(xué)教授
12月7日 周六 上午
10:00-12:00
閉門討論：金剛石在熱管理市場怎么用？從哪個角度切入熱管理市場一塊蛋糕？（僅限邀請）
