基于薄膜鈮酸鋰量產平臺的工藝開發與質量管理

據麥姆斯咨詢報道，2025年8月22日至8月24日，蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司研發經理史云濤將參加《第73期“見微知著”培訓課程：薄膜鈮酸鋰技術及光子學器件》并進行授課，具體信息如下：

授課主題：基于薄膜鈮酸鋰量產平臺的工藝開發與質量管理

授課老師簡介：

史云濤，蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司（MEMS RIGHT）研發部負責人。他于2006年獲南京大學化工系學士學位，從事IC和MEMS行業20年，歷任工程部研發部主管、經理。他擁有豐富的項目經驗，2006年至2015年，在UMC公司創下多個業界第一，例如全球首次8寸顯影PDR nozzle量產、光刻單一機臺日產出記錄等；加入MEMS RIGHT后，主持了多個重大項目的開發和量產，實現車規級MEMS微振鏡的全球首次量產，助力客戶躍居全球車用激光雷達行業Top 1。

授課背景及內容：

近年來，薄膜鈮酸鋰晶圓制造能力不斷提升，流片價格持續下降，激發了眾多公司和科研院所的產品開發熱情。在產品不斷迭代即將成熟之際，市場急需具有量產經驗和質量管理能力的薄膜鈮酸鋰代工專線，以解決實驗室工藝重復性差、產能受限等問題。薄膜鈮酸鋰材料性質與常見的硅（Si）、III-V族化合物半導體不盡相同，對熱管理、界面粗糙度、膜層折射率匹配等指標有額外的要求，形成了鈮酸鋰刻蝕工藝、膜層匹配、在線損耗測試等一系列關鍵技術。同時需要兼顧量產穩定性，因此代工廠需要在大量的數據支持下找出特殊的工藝窗口，使得為客戶代工的產品性能保持穩定。蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司（MEMS RIGHT）成立于2011年，是國內首個商業化運作的6英寸MEMS晶圓研發、中試和批量化生產平臺，此外還開展基于薄膜鈮酸鋰、PZT等新材料的器件工藝研發及代工服務。該平臺現擁有超凈實驗室3000平方米，設備200余臺套，形成了年產60000片晶圓的批量生產能力。目前，MEMS RIGHT在車規級硅基MEMS器件量產經驗基礎上開發了一套完整的質量管控體系及一系列質量管理工具，契合薄膜鈮酸鋰產品的量產要求，在此基礎上研發的高速電光調制芯片，具有損耗低、重復性好的優良特性。本課程首先介紹國內薄膜鈮酸鋰工藝開發現狀，然后分享薄膜鈮酸鋰量產工藝開發關鍵技術難點和解決方法，重點講述薄膜鈮酸鋰量產平臺的質量管理，最后展望薄膜鈮酸鋰工藝平臺發展趨勢和市場前景。

課程提綱：

1. 我國薄膜鈮酸鋰工藝開發現狀；

2. 薄膜鈮酸鋰量工藝開發關鍵技術難點和解決方法；

3. MEMSRIGHT簡介及薄膜鈮酸鋰量產工藝平臺；

4. 薄膜鈮酸鋰工藝平臺質量管理；

5. 薄膜鈮酸鋰工藝平臺發展趨勢和未來展望。

培訓詳情：

https://www.memstraining.com/training-73.html