
環氧樹脂因其絕緣性、穩定性和低成本廣泛應用于電子封裝。第三代功率半導體器件(例如 SiC/GaN)的高功率密度和高溫運行受到環氧樹脂(EP)封裝材料的限制,主要面臨三個挑戰:(1)導熱系數低導致熱量積聚;(2)EP 的熱膨脹系數比 SiC/GaN 高約 20 倍,導致界面應力高,從而引起熱循環引起的界面裂紋,造成性能或壽命顯著下降,甚至器件失效;(3)EP 的易燃性增加了熱失控的風險。
近日,華中科技大學羅裕波、楊君友教授團隊研究通過設計負熱膨脹材料Zn?.?Cu?.?P?O?(ZCPO),成功開發出具有陶瓷級熱膨脹系數和UL-94 V-0級阻燃性的環氧樹脂復合材料,解決了第三代功率半導體器件(如SiC/GaN)封裝中的熱積累、界面應力和易燃性問題。

創新點
負熱膨脹材料創新:ZCPO在20~190 °C溫度范圍內的熱膨脹系數為-20×10??/°C 。這使得ZCPO/EP -61復合材料首次實現了接近陶瓷的熱膨脹系數(4×10??/°C)和UL-94 V-0級阻燃性能。其機理源于PO?四面體與Zn/CuO?八面體的耦合旋轉。
熱膨脹系數精準調控:通過ZCPO摻雜量控制,EP復合材料熱膨脹系數可從42.3×10??/°C降至4×10??/°C,實現與半導體材料的完美匹配。
阻燃與絕緣協同提升:ZCPO的物理屏障作用和磷元素催化成碳,使復合材料通過UL-94 V-0測試,極限氧指數(LOI)達33.17%。
散熱結構簡化:熱膨脹匹配消除了TIM2層,減少界面熱阻,提升熱電冷卻效率。
其熱膨脹系數與半導體芯片完美匹配,最大限度地降低了EP與芯片或熱電冷卻器之間的界面應力,從而為功率半導體器件設計了一種無需導熱界面材料2(TIM2)的簡易熱電冷卻架構,實現了26.85 °C的冷卻溫度,比使用TIM2時的冷卻溫度(18.89 °C)降低了8 °C。該材料簡化了熱電冷卻結構,提升散熱效率,為第三代功率半導體器件封裝提供創新解決方案。
相關研究成果以題為“Highly-Effective Thermoelectric Cooling for Power Semiconductor Devices Packed with Thermal-Expansion Offset and Flame Retardancy Epoxy Resin”發表在《Advanced Functional Materials》

圖1:電子封裝對EP復合材料的要求。

圖2:a) ZCPO 的 XRD 圖譜;b) ZCPO 的精修 XRD 圖譜和結構;c) ZCPO 的結構;d) ZCPO 的 SEM 圖像;e–g) ZCPO 的 TEM 圖像。

圖3:a) ZCPO 的 XRD 圖譜隨溫度的變化;b) ZCPO 的晶格體積隨溫度的變化;c) ZCPO 的 XRD 圖譜隨溫度的變化(對應于 (200) 晶面);d) ZCPO 的 XRD 圖譜隨溫度的變化(對應于 (001) 晶面);e) ZCPO 的負熱膨脹機制;f) 本工作觀察到的熱膨脹性能與類似研究中報道的結果的比較。

圖4:a) ZCPO/EP復合材料的幾何模型;b) ZCPO/EP復合材料的熱膨脹系數;c–e) 熱模擬生成的EP體和截面的應變、第一主應力;f–h) 熱模擬生成的ZCPO/EP-61復合材料體和截面的應變、第一主應力。

圖5:a) 不含TIM2的EP熱電制冷裝置的正面和橫截面圖;b) 涂覆TIM2的EP熱電制冷裝置的正面和橫截面圖;c) 采用ZCPO/EP-61復合材料的熱電制冷裝置的正面和橫截面圖;d) 熱電冷卻功率半導體器件的結構;e) 采用ZCPO/EP-61復合材料的熱電冷卻功率半導體器件的實物圖;f) 采用ZCPO/EP-61復合材料的熱電冷卻器和涂覆TIM2的ZCPO/EP-61復合材料熱電冷卻器的溫度曲線。

圖6:a) 純EP的燃燒過程;b) ZCPO/EP‐61復合材料的燃燒過程;c) ZCPO/EP‐61復合材料的阻燃機理。


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