據報道,曾主導泛林-NIMS聯合項目、技術成果應用于臺積電日本3nm量產線的中國科學家達博,近日正式辭去日本國立材料研究所(NIMS)終身職位,帶領團隊全職回國,加盟中科大擔任講席教授。
達博在NIMS僅用一年即獲終身教職,成為該機構歷史上最年輕的終身學者。他在電子束有效利用率問題上取得突破性成果,日本學界評價為“具有與準晶發現相當的原創性意義”,日立財團曾邀請其作為唯一外籍受訪學者。
此前,達博負責了NIMS與泛林集團的聯合研究項目,聚焦電子束與刻蝕設備中的關鍵材料和核心部件,該項目已應用于臺積電日本3nm量產線。
然而,中國大陸半導體制造在5nm以下先進制程所需的核心部件、刻蝕材料等環節仍高度依賴進口,達博團隊正是瞄準了這一薄弱環節。
值得一提的是,達博拒絕所有海外邀約,明確表示將推動中國半導體材料和核心零部件達到世界先進水平。
目前,團隊部分成員已先期回國,在合肥參與國鏡儀器科技公司的產業化平臺建設。
達博是甘肅人,以高考狀元身份考入中科大并完成本碩博九年學業,2013年赴日從事博士后研究,時隔13年全職歸國。
