國內(nèi)首臺12寸獨(dú)立式光學(xué)線寬測量機(jī)臺（OCD）
據(jù)悉，OCD設(shè)備（產(chǎn)品型號為EPROFILE 300FD）是該類型的國內(nèi)首臺機(jī)臺，主要用于45nm以下、特別是28nm平面CMOS工藝的量測，并可以延伸支持上述先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的快速線寬測量。EPROFILE 300FD測量系統(tǒng)擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，包括寬譜全穆勒橢偏測頭、對焦對位系統(tǒng)、系統(tǒng)軟件等核心零部件均為自主研發(fā)，是真正意義上的高端國產(chǎn)化機(jī)臺。
精測電子介紹稱，OCD設(shè)備除具有全自動(dòng)光學(xué)膜厚測量能力外，還可以進(jìn)行顯影后檢查（ADI）、刻蝕后檢查（AEI）等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側(cè)壁角度（SWA）、高度/深度等關(guān)鍵尺寸（CD）特征或整體形貌測量，具有高速、準(zhǔn)確和非破壞性等特點(diǎn)，是半導(dǎo)體前道檢測的關(guān)鍵設(shè)備之一。
國內(nèi)唯一12寸全自動(dòng)電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備（Review SEM）
Review SEM設(shè)備是上海精測半導(dǎo)體的另一項(xiàng)主力產(chǎn)品，是先進(jìn)的全自動(dòng)晶圓在線電子束缺陷復(fù)查和分類設(shè)備，對光學(xué)缺陷檢測設(shè)備的結(jié)果進(jìn)行高分辨率復(fù)查、分析和分類。
此次出廠的機(jī)臺配備了基于深度學(xué)習(xí)的高準(zhǔn)確率智能化自動(dòng)缺陷檢測與分類算法，將進(jìn)一步幫助客戶提升缺陷復(fù)查分析的效率并顯著提升設(shè)備使用的便捷性。
