9月10日,半導體硅晶圓廠環球晶董事長徐秋蘭宣布,環球晶已開發出12吋方形碳化硅晶圓。

圖片來源:環球晶
徐秀蘭表示,在過去60年來,半導體硅晶圓都是呈現圓形,后續制造也都是以圓形硅晶圓為基礎來考量。因此若改采用方形片,不只需要制程能力,還需要設備能力,因為并沒有現成設備可用,相關周邊也要跟著變化,否則以晶圓盒來說,方形晶圓會比盒子還大,「連盒子都沒得裝」。或是如硅晶圓不透光,碳化硅晶圓卻透光,因此量測方面的問題也要處理。
另外,徐秀蘭提到,目前市場上8吋碳化硅晶圓是以雷射切割,但12吋碳化硅晶圓切割方式仍待開發。相較于其他做碳化硅的業者,沒有12吋晶圓的經驗,環球晶已擁有12吋晶圓的很多經驗,只是過去是生產硅產品,而不是碳化硅,如今該公司已經開發出不用雷射的12吋碳化硅晶圓切割方法。
#環球晶 前身是中美硅晶制品股份有限公司,2011年,中美硅晶將三大事業體(太陽能、半導體、藍寶石)獨立分割,環球晶圓股份有限公司成立。
環球晶的產品光譜橫跨3至12吋,包括拋光片、退火片、SOI芯片、FZ芯片等,可應用于醫療器材、風力發電、高速鐵路、車用電子、航天設備等多個領域。此外,公司還積極布局碳化硅晶圓領域,其位于美國德州謝爾曼市的12英寸SiC晶圓廠已實現量產。據悉,該工廠產品缺陷密度降至0.15/cm2,吸引了英飛凌、安森美等車用芯片大廠簽訂五年長約。
8月,環球晶(GlobalWafers)宣布已于6月從美國《芯片法案》獲得略超2億美元(約合人民幣14.4億元)的資金,約為其去年獲得的撥款總額的一半。
稍早一點的5月份,環球晶宣布其位于美國德州謝爾曼市的12英寸晶圓新廠正式啟用,目前新廠設備進駐率已達30%-40%,并開始小規模生產。據公開資料介紹,該工廠GWA采用一貫制程的生產模式,實現了 “一條龍生產”。
此外,該園區總占地142英畝,可容納多達六期的擴建。在工廠啟用的同時,環球晶宣布計劃在現有35億美元投資的基礎上,追加 40億美元用于該工廠第三、四期擴建工程,完成二階段建設后,廠區尚具備空間可進行第五、第六期擴建。


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