國內首臺12寸獨立式光學線寬測量機臺（OCD）
據悉，OCD設備（產品型號為EPROFILE 300FD）是該類型的國內首臺機臺，主要用于45nm以下、特別是28nm平面CMOS工藝的量測，并可以延伸支持上述先進工藝節點的快速線寬測量。EPROFILE 300FD測量系統擁有完全自主知識產權，包括寬譜全穆勒橢偏測頭、對焦對位系統、系統軟件等核心零部件均為自主研發，是真正意義上的高端國產化機臺。
精測電子介紹稱，OCD設備除具有全自動光學膜厚測量能力外，還可以進行顯影后檢查（ADI）、刻蝕后檢查（AEI）等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側壁角度（SWA）、高度/深度等關鍵尺寸（CD）特征或整體形貌測量，具有高速、準確和非破壞性等特點，是半導體前道檢測的關鍵設備之一。
國內唯一12寸全自動電子束晶圓缺陷復查設備（Review SEM）
Review SEM設備是上海精測半導體的另一項主力產品，是先進的全自動晶圓在線電子束缺陷復查和分類設備，對光學缺陷檢測設備的結果進行高分辨率復查、分析和分類。
此次出廠的機臺配備了基于深度學習的高準確率智能化自動缺陷檢測與分類算法，將進一步幫助客戶提升缺陷復查分析的效率并顯著提升設備使用的便捷性。
